판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299008

GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher는 대용량 및 대용량 처리 단계를 위해 설계된 강력한 고성능 도구입니다. 이 장비는 고급 에칭 기술을 사용하여 뛰어난 성능과 정확도를 제공합니다. 특허를 획득한 가스 배송 시스템 (gas delivery system) 과 고효율 필터 (hi efficiency filter) 는 최적의 프로세스 조건을 보장하는 반면, 정교한 소프트웨어 및 다국어 지원은 생산 환경에서 최고의 제어 및 유연성을 보장합니다. 이 장치에는 Air/Nitrogen 퍼지, 진공 인터페이스 및 프로세스 전달을위한 4 개의 가스 전달 라인으로 구성된 멀티 가스 전달 모듈이 포함됩니다. 또한 특허를받은 Mix Boost 희석 프로세스 (Mix Boost Dilution process), 다운타임 감소를위한 특허 자동 보충 알고리즘, 오염 물질 제어를 위한 고급 이온 스트림 (ion stream) 이 있습니다. 또한, 모듈식 설계를 통해 기존 프로세스 라인에 쉽게 통합할 수 있으며, 초저속 (ultra-low) kV 어플리케이션에서 작동하기 위한 RF 모듈 (옵션) 이 제공됩니다. GASONICS L 3510 etcher는 정밀 가스 믹싱 및 특허를받은 공기 가스 제거 도구를 제공하여 입자 오염을 최소화하면서 가스 침착을 모니터링하고 보상합니다. 고급 구성 툴은 속도, 선택성, 방향, 에치 깊이 등의 프로세스 매개변수를 지원하며, 프로세스 제어 및 데이터 수집을 위한 계측 (instrumentation) 을 제공합니다. 이 플랫폼은 또한 반응성 에칭 (reactive etching), 가스 제거 (gas removal) 및 플라즈마 클리닝 (plasma cleaning) 을 포함한 여러 quench 가스 솔루션을 구성하고 제어 할 수있는 다양한 특수 응용 프로그램을 지원합니다. NOVELLUS L 3510은 기존 에칭 프로세스와 호환되며, 모듈식 아키텍처는 기존 운영 라인에 쉽게 통합됩니다. 광범위한 인터페이스가 지원되며, 오픈 플랫폼 소프트웨어 (open-platform software) 제품군은 오버헤드가 낮은 자동화 솔루션을 제공하여 프로세스 정확도와 속도를 더욱 향상시킵니다. 마지막으로, L 3510은 3년간의 하드웨어 및 소프트웨어 보증이 지원됩니다. 이러한 기능은 모두 결합하여 GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher를 높은 처리량의 처리를위한 이상적인 솔루션으로 만듭니다.