판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9292697

GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher는 중형 건식 플라즈마 장비로, 사용자가 동시에 웨이퍼를 에치 및 애셔링하여 효율적이고 정확한 결과를 만들 수 있습니다. 이 도구는 저압, 저에너지 에칭 프로세스를 제공하여 습식 화학 물질, 비용이 많이 드는 가공 단계, 유해 폐기물의 필요성을 제거합니다. 수동 (manual) 및 자동 (automated) 프로덕션 라인에서 모두 사용할 수 있도록 쉽게 구현하고 구성할 수 있습니다. 시스템의 에치 챔버 (etch chamber) 는 고도로 엔지니어링 된 탄력성 알루미늄 합금 및 스테인리스 스틸로 구성되며 최적화된 15kW RF 발전기를 사용하여 최고 전력 출력을 제공합니다. 챔버 압력은 진공 환경에서 유지되며, 반응성 플라즈마 에칭 (etching) 을 가능하게하고 입자 오염의 위험을 줄일 수 있습니다. 또한 하향식 (top-down) 또는 하향식 (bottom-up) 에칭 프로세스를 통해 정밀도를 높일 수 있으며, 에칭의 크기와 방향을 제어할 수 있습니다. 또한, 선형, 중류 전원 공급 장치는 일정한 전압을 생성하며, 웨이퍼 전체에 균일 한 에칭을 유지하고, 보상 전력 주기가 필요하지 않습니다. 가소닉스 L 3510 (GASONICS L 3510) 은 또한 섬세한 표면을 보호하기 위해 포토마스크를 자동으로 올리는 포토마스크 리프트 (photomask lift), 생산 추적을 위한 원격 모니터링, 잠재적 문제 해결을 위한 통합 머신 진단 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한 프로세스 챔버 (process chamber) 는 단계 범위 제한 없이 높은 처리량 및 넓은 영역 에칭을 허용합니다. 또한 재료 유형이나 설계에 관계없이 프로세스 변화 및 균일성을 최소화할 수 있습니다. 마지막으로, NOVELLUS L 3510 etcher/asher 는 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 쉽게 작동하고 최적화할 수 있으며, 실시간 피드백을 제공하며, 향후 업그레이드와 유지 보수가 가능합니다. 또한 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics), 바이오-MEMS (Bio-MEMS), LED (LED) 등 다양한 업종에서 사용할 수 있도록 설계되어 있어 에칭 및 애싱 요구 사항을 충족하는 다용도 및 효율적인 도구입니다.