판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9271641

GASONICS/NOVELLUS L 3510 asher는 Advanced IC Manufacturing 프로세스에 사용되는 고급 플라즈마 기반 에처입니다. 이 고급 에처는 실리콘, 금속, 유전체를 포함한 다양한 재료 층을 에칭 할 수 있습니다. FlexEtch Advanced Etcher (FlexEtch Advanced Etcher) 에 의해 구동되며, 초저온 플라스마를 제공하여 엄청나게 높은 속도로 정밀 에칭을 제공합니다. GASONICS L 3510 asher를 사용하면 에칭 기능 이상뿐만 아니라, 고급 프로세스 제어, 모니터링 및 분석 도구가 제공됩니다. 노벨 루스 L 3510 애셔 (NOVELLUS L 3510 asher) 는 로봇 기질 노즐 및 뜨거운 가압 산소 플라즈마 소스로 구성되며, 에칭 공정을 이상적인 에치 레이트로 각 재료 레이어를 에치하는 능력으로 최적화합니다. 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 는 에치 균일성을 유지하고, 그림자를 제거하며, 프로세스 후 청소 및 건조 필요성을 줄입니다. 고급 워크스테이션 (Advanced Workstation) 에는 다양한 프로세스 매개변수로 재구성할 수 있으며, 고급 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 및 프로세스 최적화 (Process Optimization) 기능이 호스팅됩니다. 사용자가 현장의 에칭 (etching) 프로세스를 모니터링할 수 있는 고급 시각화 장비도 포함되어 있습니다. L 3510 asher에는 통합 재료 데이터베이스, 고급 프로세스 데이터베이스 및 레시피 관리 시스템 (빠른 프로세스 전환) 이 있습니다. 데이터베이스에는 디바이스 (Device) 특성 및 파일럿 (Pilot) 프로덕션 결과를 최적화할 수 있도록 프로세싱 레시피를 선택하고 분석할 수 있는 중요한 에칭 메트릭과 레시피가 로드되어 있습니다. 또한, 데이터베이스에는 향후 프로세스 및 애플리케이션을 위해 데이터베이스를 쉽게 업그레이드할 수 있는 온보드 데이터베이스 업데이트 (Onboard Database Updater) 가 제공됩니다. GASONICS/NOVELLUS L 3510 asher는 안전을 위해 설계되었으며 Interlock 장치, Remote Emission Control, Off-process 모니터링 및 자동 제거 시퀀스와 같은 표준 안전 기능을 제공합니다. 보호 기계에는 진공 챔버 정리 센서, 방출 모니터 및 비상 정지 제어 (Emergency Stop Control) 도 포함됩니다. 또한, 이 장치는 안전한 운영 및 다운 스트림 (downstream) 환경 준수를 유지하기 위해 고급 소프트웨어 및 도구 아키텍처를 갖추고 있습니다. GASONICS L 3510 asher (GASONICS L 3510 asher) 는 비용 효과적이고 신뢰할 수있는 프로세스 솔루션으로, 반도체 업계에서 두드러지며, 최적의 제품 수율 및 품질을 갖춘 포괄적인 에칭 솔루션을 제공합니다.