판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9270101

GASONICS/NOVELLUS L 3510은 MEMS, Semiconductor 및 Photovoltaic 응용 프로그램을위한 고급 다목적 에처/애셔입니다. 시스템당 최대 28 개의 웨이퍼와 200mm 및 150mm 웨이퍼 크기를 포함하여 카세트당 최대 35 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. GASONICS L 3510 (GASONICS L 3510) 은 뛰어난 병렬 처리 기능으로, 많은 웨이퍼가 동시에 에칭 및 재시됩니다. 또한 지능형 펄스 프로세스 (pulsed process) 와 선택적 에치 기술을 사용하여 고기능 해상도의 3D 구조를 생성합니다. NOVELLUS L 3510은 뛰어난 습식 공정 성능과 함께 99% 이상의 가동 시간을 제공하며, 이는 높은 정밀도 및 가속 알고리즘을 통해 달성됩니다. 또한, 모든 프로세스를 모니터링, 분석, 보고할 수 있으며, 모든 매개변수를 정확하게 조정하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. L 3510은 향상된 냉각 기능과 CL2, O2, SF6, Ar, He 및 모든 가스 조합과 같은 고출력 및 저전력으로 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 백사이드 산화물, 산화물 제거, 트렌치, 딥 리액티브 이온 에칭, 드라이 에칭 및 깊이 제어 에칭 등 모든 유형의 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 대해 진정한 다재다능한 옵션을 제공합니다. GASONICS/NOVELLUS L 3510의 프로그래밍 가능한 엔드 투 엔드 프로세스 기능을 통해 다양한 매개변수를 설정하고 조정하여, 유연하게 처리할 수 있습니다. 그 동력원 은 "실리카 '," 실리콘', 텅스텐 '및 여러 가지 금속 을 포함 한 여러 가지 물질 의 식각 과 재 에 사용 될 수 있다. GASONICS L 3510은 170mm에서 300mm 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 고급 공동 및 내구성 플라즈마 공정은 프로그래밍 가능한 RF 생성기와 함께이 다목적 시스템을 많은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 응용 프로그램에 이상적인 선택으로 만듭니다. 머시닝 (Machining) 프로세스는 시간이 지남에 따라 일관되고 정확하며 내부 공간은 유지 보수 프로세스를 개선하도록 설계되었습니다. NOVELLUS L 3510은 GASONICS의 혁신적인 Software Toolbox를 사용하여 고성능 실시간 제어를 제공하며 I/O 모니터링을 통해 프로세스를 완벽하게 파악할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 툴박스 (Software Toolbox) 를 사용하면 여러 프로세스에 대해 프로세스 매개변수를 쉽게 사용자 정의할 수 있으며, 효율적인 생산 및 품질 표준을 구현할 수 있습니다. 전반적으로 L 3510은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 위한 혁신적이고 강력한 다목적 장치입니다. 첨단 기능, 고도의 속도, 가속 알고리즘을 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 신속하고 안정적으로 선택할 수 있습니다. 견고하고 견고한 디자인의 GASONICS/NOVELLUS L 3510은 다양한 산업과 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.