판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9144778

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Asher는 중고속 처리량 생산 어플리케이션을 위해 설계된 고급 자동 에칭 및 애셔 반도체 제조 장비입니다. 이 시스템은 반도체 기판의 고밀도 회로 기능에서 포토 esist 및 기타 드라이 필름 레이어를 패턴화하도록 설계되었습니다. 그것은 높은 정밀도와 균일성으로, 0.20 äm까지 기능을 에칭 할 수 있습니다. 이 장치에는 모듈 식 디자인의 2 개의 공정 챔버가 포함되어 있으며, 최대 플레 넘 및 온도 균일성이 가능합니다. 아트 플라즈마 (Art Plasma) 점화 상태로 무장한 챔버는 특정 고객 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 특수 에칭 가스는 MGS (Mixed-Gas Source) 기계에 의해 도입 될 수 있으며, 초미세 에칭으로 멀티 스텝 프로세스를 허용합니다. 온도 조절은 25 ~ 400 ° C 범위의 정밀 제어가있는 공정 챔버에서 달성됩니다. 이 툴에는 고속 전송 에셋이 포함되어 있으며 GASONICS 전용 '유연한 처리 모듈 (Flexible Processing Module)' 과 통합되어 있어 애플리케이션에 가장 적합한 프로세스를 선택할 수 있습니다. 또한 전동 기판 핸들러 (motorized substrate handler) 를 통합하여 기판을 쉽게 적재 및 언로드할 수 있습니다. 오염으로부터 생산성을 극대화하고 기판을 보호하기 위해 GASONICS L 3510 (GASONICS L 3510) 은 정교한 자동 기판 처리 모델을 특징으로하며, 민감한 재료의 보호를 위해 불활성 가스 통합 (옵션) 을 제공합니다. 이 장비에는 자동 결함 감지, 종단점 감지, 프로세스 매개변수 모니터링, 프로세스 최적화 기능 등 다양한 프로세스 제어 기능이 제공됩니다. 또한 프로세스 안정성과 품질 제어를 위한 진단 기능이 내장되어 있습니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 크기 (최대 12 인치) 와 호환됩니다. 또한 배치당 최대 20 개의 기판을 지원하여 효율적인 운영 처리량을 제공합니다. 전반적으로 NOVELLUS L 3510 (NOVELLUS L 3510) 은 뛰어난 균일성과 처리량을 갖춘 고해상도 에칭 (etcher) 기능입니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 및 고급 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 통해 중간에서 고도의 처리량 생산 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.