판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293658983

GASONICS/NOVELLUS L 3510은 고급 반도체 장치의 생산에 적합한 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 독립적 인 화학 제어를 가진 플라즈마 에칭 및 애싱 챔버를 특징으로합니다. 또한, 프로세스 제어 및 처리량을 향상시키기 위해 자동화할 수 있습니다. 이 장치의 화학 제어는 GASONICS 특허를받은 Plasma enhanced Direct Current (DC) 화학 제어 기계에 의해 구동됩니다. 이 도구를 사용하면 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 가변성을 최소화하고 수율을 개선할 수 있습니다. 또한 사용자는 알루미늄, 주석, 구리 에칭 (etching aluminium, tin, copper) 과 같은 광범위한 프로세스에 대한 에치 화학을 선택할 수 있습니다. GASONICS L 3510은 기판 예열 모듈, atomizer 및 plasma asher와 같은 다양한 챔버로 구성 될 수 있습니다. 기본 장치에는 원격 플라즈마 작동을 위해 설계된 전면 도어도 있습니다. 이 자산에는 전동 웨이퍼 잼 방지 모듈 (Motorized Wafer Jam-Prevention Module) 및 로드 잠금 (옵션) 이 포함 된 자동 웨이퍼 처리 구성 요소도 포함됩니다. 이 모델은 알루미늄, 구리, 주석, 텅스텐, 폴리 이마이드, 세라믹, 실리콘 질화물 및 유기물을 포함한 다양한 에치 및 애싱 프로세스를 지원합니다. 높은 처리 속도 (시간당 최대 200 웨이퍼) 는 대용량 생산 요구 사항에 이상적입니다. 또한, 이 장비는 다양한 환경/안전 기능 (예: 고급 여과, 자동 화재/과압 차단) 을 제공하여 안전하고 생산적인 운영을 보장합니다. 결론적으로, NOVELLUS L3510 etcher/asher는 고급 반도체 장치 생산에 적합한 강력하고 신뢰할 수있는 시스템입니다. 이 제품은 정밀한 화학 관리 (chemistry control) 와 높은 처리량 (throughput) 을 제공하며 프로세스 환경을 안전하고 반복적으로 유지할 수 있도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다.