판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293595737

GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher는 공정 제어가 높고 생산성이 향상된 고급 고 처리량 드라이 에칭 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 질화물, 금속, 유기 재료 등 다양한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. GASONICS L 3510 장치의 신뢰성은 GASONICS 및 NOVELLUS의 포괄적 인 경험과 기술을 기반으로합니다. NOVELLUS L 3510 etcher/asher는 기판을 에치 및 청소하기 위해 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스 및 엑시머 (딥 UV) 레이저를 포함한 입증 된 에칭 기술에 의존합니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 각기 다른 재료를 에치할 수 있는 충분한 유연성을 제공하며, 초고진공 환경을 만드는 진공기가 내장되어 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 높은 처리율을 갖는 실리콘 (silicon) 이나 질화물 (nitride) 과 같은 얇은 재료 필름을 통과 할 수 있습니다. CV (in-situ capacitance-voltage) 모니터는 실시간 프로세스 제어를 통해 균일 한 에칭을 보장합니다. 또한, 플랫폼의 고급 온도 조절 및 가스 분포 툴 (gas distribution tool) 은 정확한 온도 및 가스 분배를 허용합니다. L 3510 etcher/asher 는 소프트웨어 제품군에 의해 지원되며, 사용자가 신속하게 레시피를 선택하고 최적화하여 사용자 환경을 향상시킵니다. 사용자는 응용 프로그램의 요구 사항에 따라 레시피를 만들고, 매개변수를 수정할 수 있습니다. GUI (Graphical User Interface) 인터페이스는 사용자 친화적이며 직관적인 작업을 수행할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher는 전자, 광학 및 반도체 산업의 다양한 응용 분야를위한 훌륭한 플랫폼입니다. 공정의 높은 정확성과 반복성을 제공하는 PLC 제어가 있으며, DFM (Dielectric Constant Monitor) 및 VTM (Vacuum Monitor) 시스템은 탁월한 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 이 자산은 열적으로 자란 산화물 제거, 금속의 얕은 에칭 (etching) 과 같은 다양한 웨이퍼 클리닝 및 에칭 응용 분야에 적합합니다. 이 모델은 또한 에칭 중 낮은 오염을 제공하는데, 이는 알루미늄 (aluminum) 이나 은 (silver) 과 같은 민감한 물질에 유익합니다. 모듈식 (Modular) 설계 덕분에, 고객의 변화하는 요구에 맞게 장비를 쉽게 업그레이드, 수정할 수 있습니다.