판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235159

GASONICS/NOVELLUS L 3500은 높은 처리량, 빠른 증착 및 정확한 원자층 증착을 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 높은 처리율로 3-5 나노 미터 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 이 시스템에는 진공 기반 공정 챔버, 고출력 RF 플라즈마 소스 및 현장 내 웨이퍼 검사 장치가 장착되어 있습니다. 진공 기반 공정 챔버는 기판 처리를 위해 매우 높은 진공 환경을 제공합니다. 공정 대기 를 정밀 히 제어 할 수 있는 "가스 '분배 장치 가 갖추어져 있어서, 여러 가지 재료 를" 에치' 하거나 "애쉬 '로 만들 수 있다. 공정 챔버에는 진공 수준 10-6 Torr을 유지하기 위해 활성 펌핑도 포함됩니다. RF 플라즈마 소스는 다양한 전원 수준에서 매우 강력한 플라즈마 (plasma) 를 생성 할 수 있습니다. 이렇게 하면, 금속 에서 유전체 에 이르기 까지, 광범위 한 물질 들 을 에칭 혹은 재 로 만들 수 있다. 또한 "플라즈마 '의 동력 과 주파수 에 대한 정밀 제어 장치 도 포함 되며, 이" 플라즈마' 의 동력 과 주파수 는 "오퍼레이터 '가 원하는" 응용프로그램' 에 맞도록 한다. In-situ wafer 검사 장치를 사용하면 etched 또는 ashed 표면을 실시간으로 검사 할 수 있습니다. 이를 통해 크기와 재료가 다른 기판보다 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 온도, 압력, GASONICS L 3500과 같은 매개변수를 측정하는 다양한 센서가 포함되어 있으며, 일관된 프로세스 결과를 보장하기 위해 레시피 및 매개변수의 조작 및 관리를위한 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS L3500은 강력하고, 정확하며, 처리량이 많은 에처/애셔로, 다양한 증착 및 에치 프로세스에 이상적입니다. 안정성이 높고, 작동이 용이하며, 매우 정밀하고, 처리량이 많은 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다.