판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235158

GASONICS/NOVELLUS L 3500은 CMP (Chemical Mechanical Planarization) 프로세스를 위해 설계된 고급 에칭/애쉬 장비입니다. 사용이 간편한 시스템에서 고성능, 능률적인 운영자 제어, 뛰어난 프로세스 균일성을 제공합니다. 이 장치는 운영 기간 연장 (extended period of operation) 에 걸쳐 가장 높은 반복 가능성과 신뢰성을 제공하며, 다양한 습하고 건조한 에칭/애싱 (etching/ashing) 어플리케이션에 대해 최상의 프로세스 제어를 제공합니다. GASONICS L 3500에는 로봇 포지셔닝을 위해 정확하고 반복 가능한 동작을 제공하는 2 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 팔은 플랫폼에서 공구를 정렬하는 데 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 GASONICS 마이크로 프로세서 기반의 실시간 적응 제어를 사용하여 최고의 에칭/애싱 성능을 보장합니다. 고성능 로봇 암 컨트롤러 (Robotic Arm Controller) 와 결합되어, 모든 각도에서 단일 로봇 또는 다중 로봇을 정확하게 찾아서 배치하고, 최대 초당 10발 (sps) 의 속도를 낼 수 있습니다. wafer surface 전체에 걸쳐 균일한 프로세스 조건을 보장하기 위해 Tool은 다중 영역 뷰포트 (multi-zone) 를 사용하여 뷰의 각 zone 에 대해 특정 프로세스 조건을 조정하고 프로세스 최적화 및 정렬을 활성화합니다. 또한, 모델에는 자동 디웨팅 (auto-dewetting) 기능이 장착되어 있으며, 웨이퍼 에치 사이의 플랫폼을 재설정하여 에치/애쉬 균일성을 자동으로 유지합니다. 이렇게 하면 각 에치의 오류가 줄어들어 웨이퍼 전체에 일관된 에치 (etch) 프로파일이 생성됩니다. NOVELLUS L3500은 일관된 성능과 높은 공정 수율을 위해 설계되었습니다. 이 장비는 다중 영역 제어, 웨이퍼 수준 및 프로세스 수준 매개 변수, 실시간 경보 모니터링을 결합합니다. 또한, 이 시스템은 높은 처리량, 높은 정밀 정렬 및 반복성을 가능하게 하는 공구를 위한 로봇 통합 비전을 제공합니다. 전반적으로 NOVELLUS L 3500은 CMP 프로세스에 대한 고급, 신뢰성, 고성능 에처/애셔입니다. 고 수율 에칭/애싱을 위해 높은 정밀도와 반복 성을 제공합니다. 이 장치는 구성성이 뛰어나고 다용성이 뛰어나며, 다양한 프로세스 (process) 와 어플리케이션 (application) 에 맞게 조정할 수 있습니다. 첨단 기능과 기능을 갖춘 이 시스템은 가장 까다로운 CMP 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.