판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9227632

GASONICS/NOVELLUS L 3500은 반도체 제작 산업에 사용되는 최첨단 에처/애셔입니다. 정밀 리소그래피, 플라즈마 클리닝 (plasma cleaning) 및 하드 마스크 에치 (hard-mask etch) 프로세스의 최신 발전을 결합하여 최고 수준의 수율과 처리량을 제공합니다. GASONICS L 3500에는 2 개의 에치 챔버와 2 개의 플라즈마 시스템이 있으며, 최대 2 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 또한 진공 밀봉 커버가 있으며, 이는 에치 공정의 부산물 (예: 구리 에치 오프 스타트) 을 수집 할 수 있습니다. NOVELLUS L3500은 GASONICS 특허 펄스 플라즈마 (pulse-plasma) 기술을 통합하여 에칭 전에 재료 표면을 청소하기 위해 초점, 고밀도, 마이크로 초 지속 플라즈마 펄스를 사용합니다. 이 프로세스는 etch가 시작되기 전에 불순물 또는 결함을 제거하므로, 매우 깨끗하고 결함이 없는 최종 제품을 확인합니다. 또한, L 3500은 플라즈마 화학을 조정하기위한 맞춤형 중가스 (bespoke middle-gas) 흐름 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 광범위한 필름을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템을 통해 GASONICS L3500은 금속, 중합체, 유전체 및 심지어 실리사이드를 에치 할 수 있습니다. NOVELLUS L 3500에는 NOVELLUS 특허 PFZ 소프트웨어가 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 정확성과 제어로 에칭 프로세스를 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. 또한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 빠르고 쉽게 에칭 매개변수를 설정하고 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. L3500은 뛰어난 최종 제품의 품질을 제공합니다. 첨단 챔버 (Advanced Chamber) 설계는 에치 대상이 오염되지 않도록 보장하는 한편, 처리 중에도 오염이 없도록 유지되므로 결함률이 매우 낮습니다. 이를 통해 반도체 업계에서 가장 엄격한 품질 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한, GASONICS/NOVELLUS L3500은 고급 에치 균일성 제어를 특징으로하여 모든 에칭 된 재료가 지정된 크기 내에 유지되도록 합니다. 요약하면, GASONICS/NOVELLUS L 3500은 반도체 제작 산업을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 최종 제품 제어 및 정확성을 위해 펄스 플라즈마 클리닝, 조절 가능한 플라즈마 화학, 사용자 친화적 인 PFZ 소프트웨어의 조합을 제공합니다. 고급 디자인 덕분에 GASONICS L 3500은 매우 안정적이며, 고밀도, 결함이 없는 최종 제품을 제공합니다.