판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS L 3300 #9243661

GASONICS/NOVELLUS L 3300은 기판에서 매우 고품질의 정확한 기능을 생산하도록 설계된 완전 자동화 에처입니다. 이 에처는 광범위한 재료를 빠르게 에칭할 수있는 고압, 고밀도 플라즈마 환경을 제공합니다. 통합형 엔드 포인트 감지 장비는 초정밀 에치 (etch) 프로파일을 보장하며 수율 및 생산성을 향상시킵니다. 이 장치의 고급 제어 및 자동화는 반복 가능한 프로세스 결과를 보장하는 데 도움이 됩니다. 이 작업은 엄격한 프로세스 제어, 인라인 진단, 자동 레시피 관리, 다양한 플라즈마 레시피 (plasma recipe) 등 다양한 기능을 통해 수행됩니다. 또한, 이 시스템은 기판 난방 및 냉각에 매우 효율적인 열원을 제공합니다. 가열의 경우, 인시 투 쿼츠 램프 (in-situ quartz lamp) 는 에칭 동안 일정한 온도를 유지하는 데 사용되며, 열은 대상 기판에 균등하게 분포됩니다. GASONICS L 3300은 PPPS (Pulsed Plasma Power Source) 를 사용하여 다른 유형과 두께의 재료에 맞춘 정확하고 균일 한 플라즈마를 생성합니다. PPPS 와 기판 간 인터페이스는 수율과 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. PPPS는 조정 가능한 펄스 너비 파형 및 자체 적응 플라즈마 파형을 제공하여 프로세스 제어를 최적화합니다. In-situ 가스는 또한 최적의 프로세스 반복성을 보장하기 위해 챔버 내에서 관리됩니다. 구체적으로, 에처는 산소, Ar/CF4/CHF3, SiCl4 및 SF6 화학 물질의 동적 흐름 제어를 제공한다. 공정은 공정 균일성을 향상시키기 위해 높이 높이 아크 구리 샤워 헤드 (adjustable-height arc copper shower head) 와 광섬유 샤워 헤드 (fiber optic shower head) 를 갖춘 진공 타이트 챔버를 통해 제어됩니다. NOVELLUS L 3300은 최대 8 인치 (203mm) 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이것 은 "기판 '을 단기간 에 처리 할 수 있고, 또 다른" 패스' 나 "스텝 '을 필요 로 하지 않기 때문 에 빠른 처리 시간 을 허용 한다. 레시피 생성, 유닛 운영, 프로세스 모니터링을 위한 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 편리하게 사용할 수 있습니다. 이 기계에는 프로세스 반복성을 보장하는 통합 진단 도구 (diagnostic tool) 도 있습니다. 전반적으로 L 3300은 정확하고 정확한 에칭 기능을 제공하도록 설계된 고품질, 신뢰성 있는 에칭 (etching) 자산입니다. 고압, 고밀도 플라즈마, 고효율 난방/냉각 기능으로, 다양한 업계에 이상적인 선택입니다. "유연성 '과" 사용하기 쉬운' 기능을 통해 기판을 빠르고 안정적으로 불러올 필요가 있는 모든 사람에게 적합한 선택입니다.