판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS / GPT Gamma #9083208

GASONICS/NOVELLUS/GPT Gamma는 전자 및 반도체 산업에 일반적으로 사용되는 고급 에처 및 애셔입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 표면에 재료를 청소, 에치 및 침전하도록 설계되었습니다. 고압 산소 혈장을 사용하여 웨이퍼에서 산화물, 규산염 및 탄화수소를 제거합니다. 이 에처/애셔는 또한 은-황 에칭을위한 산소-반응성 가스 주사, 고-선택성 에칭을위한 반응성 이온 에칭을 특징으로한다. GPT 감마 (GPT Gamma) 는 직경이 8 ~ 32 인치 인 광범위한 반도체 웨이퍼를 에치, 애셔 및 청소할 수있는 완전 자동화 된 다중 도구 장비입니다. 이 시스템은 고가의 '프리휠' 웨이퍼 캐리어를 포함하여 많은 웨이퍼 캐리어를 수용 할 수도 있습니다. GASONICS Gamma는 고급 프로세스 모니터링 및 피드백 제어 기술로 입자 생성을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 의 열 및 기계 응력을 줄이기 위해 가변 공정 시간 지연이 특징입니다. 약실 은 강력 한 "가스 '전달 장치 에 연결 되어 있는데, 그것 은 약실 을 미리 가열 하고 가압 할 수 있다. 이 기계는 정확하게 제어 된 수준 및 온도에서 고속 반응 가스의 제어 된 도입을 가능하게합니다. 감마 (Gamma) 는 와퍼에 대한 최고의 기계적 보호를 위해 안전한 분할 레벨 (split-level) 설계를 갖춘 최첨단 웨이퍼 처리 도구를 갖추고 있습니다. 에셋은 또한 열 사전 선택, 웨이퍼 캡처, 로드, 언로드, 프로세스 전/사후 분석 등 높은 수준의 자동화를 관리 할 수 있습니다. 또한 NOVELLUS Gamma는 실리콘, 질화 알루미늄, 석영 등 다양한 웨이퍼 재료와 호환됩니다. GASONICS/NOVELLUS/GPT Gamma는 시장에서 가장 향상된 시스템 중 하나이며, 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공합니다. 이 모델은 생산량을 극대화하고, 비용과 주기를 줄이고, 전반적인 수요 이행을 보장하도록 설계되었습니다. 업계 최고 수준의 기술 엔지니어 (Technical Engineer) 팀이 지원하여 고객 만족을 보장합니다 (영문).