판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura #9238515

GASONICS/NOVELLUS Aura는 일반적으로 반도체 생산 산업에서 사용되는 에처/애셔입니다. 0.15 미크론 (150 나노 미터) 의 작은 기능을 가진 구성 요소를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 뛰어난 화질, 안정성, 생산성을 제공하므로 정교한 마이크로 패턴 (micro-pattern) 으로 정교한 제품을 생산할 수 있습니다. GASONICS Aura 시스템의 기본 단위를 PECVD 프로세서라고하며, 최대 2 개의 챔버를 장착 할 수 있습니다. 각 챔버 내에서, 성분은 가스로 채워진 진공관을 통과하여, 반응성 가스와 높은 RF 소스의 혼합물을 전달한다. RF 소스는 기판과 그 기능을 저하시키지 않고 에칭 (또는 실리콘이 아닌 재료의 경우 애싱) 에 필요한 플라즈마를 생성합니다. 각 챔버에는 에치 처리 챔버 (etch processing chamber) 를 통해 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 움직이는 스테이지가 장착되어 있습니다. NOVELLUS Aura 시스템은 또한 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 보장하기 위해 고급 설계 자동화 및 정교한 알고리즘 제어를 제공합니다. 이 시스템은 에치 타임 (etch time), 가스 흐름 (gas flow) 및 램프 파워 레벨을 조정하여 전달된 에치 레이트 (etch rate), 균일성 (unifority) 및 기타 매개변수에 대한 높은 정확도와 더 나은 제어를 제공합니다. 오라 (Aura) 는 높은 처리량과 높은 수율을 제공하도록 설계되어, 가장 까다로운 생산 환경에 적합한 솔루션입니다. 웨이퍼와 배치 간의 에치 균일성은 IC 장치 제작, MEMS, 고급 반도체 포장을 포함한 다양한 어플리케이션에 이상적입니다. GASONICS/NOVELLUS Aura는 가장 힘든 작업에 정확하고 반복 가능한 에칭이 필요한 사람들에게 이상적인 솔루션입니다. 정교한 설계 자동화 및 알고리즘 제어는 최고의 성능과 안정성을 제공합니다. GASONICS Aura (GASONICS Aura) 를 통해 고객은 반복 가능한 성능과 탁월한 비용/성능 비율을 지닌 품질의 구성 요소를 받을 수 있습니다.