판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura #293824587

GASONICS/NOVELLUS Aura는 집적 회로의 중대량 생산을 위해 설계된 고급 에치 및 애셔 장비입니다. 특허를 획득한 이중 렉트로드 (dual-lectrode) 공정을 활용하여 다양한 프로세스 기술을 결합하여 다양한 재료, 형상, 피쳐 크기에 대한 우수한 결과를 제공합니다. GASONICS Aura는 높은 해상도로 유전체 및 금속 층을 모두 처리 할 수 있으며, 최소한의 공정 챔버 및 하드웨어가 필요합니다. 저밀도 플라스마 (low-density plasma) 와 고밀도 플라즈마 (high-density plasma) 의 혁신적인 조합을 사용하여 결함 수준이 낮고 비용 효율적인 고품질을 제공합니다. NOVELLUS Aura는 고품질 결과를 가능하게하기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 탁월한 프로세스 제어, 최적의 전력 성능을 위한 저전압 작동, 신속한 문제 해결을 위한 도구 진단 등이 포함됩니다. 또한 여러 고급 프로세스 매개변수 (advanced process parameters) 를 통해 사용자는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 사용자 정의하여 애플리케이션의 특정 요구를 충족할 수 있습니다. 여기에는 에치 속도, 전력 밀도, 화면 크기, 여러 프로세스 레시피 (recipe) 를 활용하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 최적화된 프로그램 저장 기능과 사용자 정의 매크로 프로그래밍 기능이 내장되어 있어, 사용자가 필요에 따라 레시피를 사용자 정의할 수 있습니다. 오라 (Aura) 는 정밀하고 정확한 피쳐 크기를 생산할 수 있지만 여전히 광범위한 재료, 형상, 피쳐 크기를 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 애플리케이션의 유연성을 높이고 결과를 향상시킬 수 있습니다. 이 기계에는 프로세스 및 장비 상태 표시, 자동 기록 관리, 고급 기계 제어 (Advanced Machine Control) 기능을 갖춘 터치스크린 기술을 사용하는 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 따라서 도구의 설치 및 작동이 훨씬 쉬워지고 효율성이 향상됩니다. GASONICS/NOVELLUS Aura는 포스트 프로세싱 시스템, 마스킹 시스템, 도량형 도구 등 다른 여러 제품과 호환되며, 여러 처리 도구를 소유하는 데 드는 비용을 줄입니다. 또한 EMC 는 숙련된 고객 서비스 팀과 기술 팀의 지속적인 유지 보수, 교육 프로그램, 지원 등을 제공합니다.