판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293767744

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 높은 생산성, 낮은 TCO, 탁월한 프로세스 제어 기능을 갖춘 이 툴은 다양한 어플리케이션에 적합합니다. GASONICS Aura 3010은 GASONICS Systems에서 개발 한 "버블" 기술을 기반으로하는 플라즈마 에치 시스템입니다. 이 기술은 음향파를 활용하여 에칭 중 이온 플럭스 (ionic flux) 의 높은 속도를 만들어 처리 속도와 정확도를 증가시킵니다. 고진공 장치 (high-vacuum unit) 를 통해 모든 주요 반도체 기판을 포함한 광범위한 재료를 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS Aura 3010은 쿼츠 슬릿 밸브가있는 1,200mm 웨이퍼 용량을 제공합니다. 또한 에칭 프로세스를 수동 또는 자동 제어할 수 있는 고급 자동화 (Advanced Automation) 소프트웨어를 호스팅합니다. 이 기계는 정확한 에칭 및 기판 균일성을 포함하여 여러 가지 이점을 제공합니다. Aura 3010은 또한 다양한 레시피를 지원하므로, 사용자가 에칭 프로세스를 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 최적의 프로세스 제어를 유지하기 위해 RFL (Remote Feedback Loop) 을 통해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 실시간 웨이퍼 매핑 도구는 에치 프로세스 (예: 출현 시간, 압력, 가스 흐름, 전력) 에 대한 관련 데이터를 제공합니다. 이러한 포괄적 인 제어를 통해 GASONICS/NOVELLUS Aura 3010은 높은 수확량과 뛰어난 프로세스 안정성을 보장합니다. GASONICS Aura 3010은 입증 된 화학 증기 증착 공정 기능을 제공하는 VERTEX CVD 클러스터를 사용합니다. 염소 및 플루오린화 수소산 스트립 공정을 포함하여, 에치 후 청소 공정에 몇 가지 옵션을 사용할 수 있습니다. 또한, 모서리 벽 에치는 기본 레이어를 손상시키지 않고도 가능합니다. 에셋에는 에지 비드 제거, 기판 처리 및 프로세스 모니터링 옵션도 있습니다. NOVELLUS Aura 3010은 에칭, 애싱 및 청소가 필요한 고급 프로세스에 이상적인 선택입니다. 고급 기능, 높은 생산성, 뛰어난 프로세스 제어 (process control) 기능을 갖춘 이 모델은 고품질 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 필요한 모든 시설에 적합합니다.