판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293598156

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010은 고급 기술 응용 프로그램의 정밀 에처/애셔입니다. 설계와 강력한 기능을 통해 GASONICS Aura 3010은 재료 엔지니어링 및 에치/애셔 (etch/asher) 응용 분야에서 사용하기 위해 중요한 도구입니다. 이 장치는 박막, 에치 (etch) 및 anneal의 여러 응용 프로그램을 쉽게 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS Aura 3010은 단계 해상도가 10um 인 정밀 부품을 조작할 수 있으며, 정밀한 X-Y, Z 및 회전 이동을 위해 최대 8-5 축 단계로 구성 할 수 있습니다. 이 장치에는 정확한 온도 조절 및 에치 프로파일 제어 (etch profile control) 를 위해 고급 소프트웨어 및 자동화 컨트롤이 장착되어 있습니다. 오라 3010 (Aura 3010) 에는 다양한 난방원이 있어 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 여기에는 구조 금속, 중합체 및 광학적으로 축적 된 박막이 포함됩니다. 또한, 단일 레벨 (single-level) 과 다중 레벨 (multi-level) 의 다양한 마스크로 장치를 구성할 수 있으므로 다양한 패턴화 프로세스에 적합합니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 3010의 설계는 또한 프로세스 매개 변수를 자세히 제어 할 수 있습니다. 여기에는 온도, 압력, 반응 챔버 (reaction chamber) 크기의 제어뿐만 아니라, 정확한 에치/애셔 프로파일을 생성하기 위해 대상 재료 두께를 변화시키는 기능이 포함됩니다. GASONICS Aura 3010에는 다양한 입력 및 출력 옵션도 있습니다. 여기에는 손쉬운 데이터 전송을 위한 이더넷, USB 및 통합 소프트웨어가 포함됩니다. 또한, 이 장치에는 프로세스 매개변수 및 결과에 대한 검토를 위한 다양한 프로세스 보고서 (process report) 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS Aura 3010은 박막 및 구조 재료의 정밀 처리가 가능한 고급 에치/애셔입니다. 이 설계는 정확한 온도 조절, 마스킹 기능, 다양한 입력/출력 옵션을 지원합니다. 이 모든 것 은 많은 재료 공학 "응용프로그램 '에 사용 하기 에 이상적 인 도구 이다.