판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9227352

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL은 반도체 업계에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 이 etcher/asher 는 혁신적인 독자적인 가스 토폴로지 (gas topology) 및 분산 처리 (distributed processing) 기능을 활용하여 높은 처리량과 뛰어난 장치 성능을 실현할 수 있습니다. 고급 처리 기능을 갖춘 GASONICS Aura 2000LL은 최고의 수율과 동급 최고의 품질을 제공합니다. NOVELLUS AURA 2000 LL은 고성능 etcher/asher 헤드를 중심으로 설계되었습니다. 이는 오늘날의 가장 정확한 장치에 필요한 mm 수준의 정확도를 제공합니다. 고급 에처 (etcher) 와 애셔 챔버 (asher chamber) 는 매우 효율적이므로 에처 (etcher) 에서 애셔 (asher) 와 백 (back) 으로 효율적인 이온을 옮길 수 있습니다. 이렇게 하면 긴 프로세스 실행에 걸쳐 주기 시간을 줄이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 Aura 2000LL (Aura 2000LL) 은 다양한 고급 기능을 제공하여 사용자가 에칭 및 애셔링 프로세스를 정확하게 제어할 수 있도록 합니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 사용자는 특정 응용 프로그램의 에치/애셔 (etch/asher) 를 조정하여 프로파일링 정확도를 높이고 장치 수율을 향상시킬 수 있습니다. 이 장비에는 또한 고급 PEM (Plasma Emission Monitoring) 시스템이 포함되어 있어 사용자가 에칭 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 완벽한 장치 성능과 생산성을 보장할 수 있습니다. AURA 2000 LL은 고급 가스 전달 장치를 사용하여 에치/애셔를 정확하게 제어합니다. 사용자는 각 에치/애셔 (etch/asher) 별 가스 속도를 사용자 정의하여 일관되고 반복 가능한 결과를 보장할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 플랫폼을 사용하면 프로세스 설정을 신속하게 최적화할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LL은 시간당 최대 60 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 다양한 프로세스 조건에서 수행되도록 설계되었습니다. 전반적으로 GASONICS AURA 2000 LL은 오늘날 가장 까다로운 반도체 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 설계된 혁신적인 에처/애셔 머신입니다. 고급 기능과 기능을 갖춘 NOVELLUS Aura 2000LL은 사용자에게 탁월한 정확성과 성능을 제공합니다.