판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9145302

Gibar GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL은 다양한 작업을 수행하기 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. 2000 년 LL은 수정 성장 및 패턴 생성 기능, 정전기 변조, 이온 빔 가속 등 모든 부서에서 높은 기능 수를 제공합니다. 설치 공간이 작고 정밀도가 높은 GASONICS Aura 2000LL은 매번 균일하고 고성능 결과를 제공하는 데 의존할 수 있습니다. 2000LL은 프로세스 매개변수를 신속하게 제어하여 향상된 성능 및 시스템 제어를 제공하는 통합 VME 호환 마이크로프로세서 (VME) 장비를 갖추고 있습니다. 기계는 또한 다양한 진공 수준과 온도를 제공합니다. 2000LL은 금속 및 기타 재료의 건식 에칭, 습식 에칭, 습식 포토 esist 제거, 에치 클리닝 및 패턴 증착에 사용될 수 있습니다. 2000LL의 컴팩트 한 디자인은 비교적 사용자 친화적이며, 인체 공학적 디자인 요소, 빠른 릴리스 포트 및 조절 가능한 레이크 아웃 기능을 제공합니다. 이동식 플래튼 (Removable Platen) 옵션을 사용하면 작업 간 장치 구성 요소를 쉽게 전송할 수 있으며, 고효율 가스와 카트리지 공급 장치 (Cartridge Supply Machine) 를 사용하면 재료 로딩 및 청소에 필요한 작동 시간을 줄일 수 있습니다. NOVELLUS AURA 2000 LL은 또한 3 축 빔 초점, 3D 출력 제어를 위한 전원 제어 모듈, 광 파형 모니터링 등 다양한 고급 빔 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 또한, 2000LL의 가변 주파수 드라이브 (Variable Frequency Drive) 출력 옵션은 기판 온도 및 기계 프로세스 설정을 철저하게 제어합니다. Gibar GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LL은 다양한 재료에 걸쳐 정확성과 일관성을 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 통합 마이크로 프로세서, 조절 가능한 rakeoutfeature, multi-axis beam focusing 및 waveform 모니터링 기능은 정교하고 사용하기 쉽고, 정확하며, 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 도구를 찾는 사용자에게 이상적인 선택입니다.