판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9113641

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL은 정밀 생산 및 높은 처리량을 제공하는 고급 제조를위한 에처/애셔 장비입니다. 반도체 웨이퍼 제작을 위해 안정적인 HDP (High Density Plasma) 프로세스를 통해 강력한 에칭 및 애싱을 제공하도록 설계되었습니다. 이 최첨단 시스템은 프로세스 로그, 경보, 작업 단순화를 위한 사용자 친화적 터치스크린으로 완벽하게 자동화됩니다. GASONICS Aura 2000LL은 더욱 정밀하게 HDP 기술을 제공합니다. 가변 압력 장치 (variable pressure unit) 는 일관된 플라즈마 환경을 유지하면서 치료 과정의 활기찬 잠재력을 극대화하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 기계는 결함 감소 및 수율 증가를 위해 개선 된 청소 처리 방법을 사용합니다. 이 도구에는 제품 품질 향상, 프로세스 안정성 향상을 위한 포괄적인 감지 (detection) 및 결함 없는 (defect-free) 기능이 장착되어 있습니다. 고급 실시간 장애 확인은 원활한 작동과 신속한 경보 응답을 보장합니다. 또한, 프로세스 매개 변수가 바뀌면 레시피가 자동으로 최적화 및 조정되고, 통합 비전 (integrated vision) 자산은 고급 프로세스 모니터링 및 감지를 활용합니다. 이 모델은 또한 정확도를 높이기 위해 고급 기계 설계 및 고급 코팅 기능을 갖추고 있습니다. 정교한 자동 웨이퍼 (automated wafer) 전달 장비는 부드러운 제품 흐름을 보장하는 반면, 질량이 낮은 디자인은 거친 진동을 줄입니다. 또한, 광범위한 웨이퍼 (wafer) 와 기판 (기판) 을 치료하는 능력은 다양한 작업에 대해 다양하고 신뢰할 수있는 도구입니다. NOVELLUS AURA 2000 LL은 고급 반도체 제조 작업을위한 강력하고 신뢰할 수있는 etcher/asher 시스템입니다. 첨단 HDP 기술, 포괄적인 감지 및 결함 없는 기능, 견고한 레시피 최적화 기능, 고급 기계식 설계 (mechanical design) 는 다양한 작업에 대해 정확한 생산과 높은 처리량을 제공합니다.