판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293749487

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL은 많은 반도체 제조 공장에서 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 첨단 냉벽 (cold wall) 설계를 사용하여 정확한 가스 및 플라즈마 제어 기능을 보장하며, 다양한 기판 및 장치 설계를 위한 안정적인 에칭 (etching) 프로세스를 제공합니다. GASONICS Aura 2000LL은 에칭 및 애싱 응용 프로그램 모두에 높은 반복성과 정확성을 제공하도록 설계된 최고의 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. NOVELLUS AURA 2000 LL의 콜드 월 (cold wall) 설계를 통해 전체 공정 챔버에서 정확한 가스 흐름과 온도를 유지할 수 있습니다. 이것은 장치에서 이온의 증착을 피하면서 균일 한 가스 분포 및 플라즈마 균일성을 허용한다. NOVELLUS Aura 2000LL은 또한 아르곤, 크립톤, 산소, 염소, 제논, 불소 및 육불화 황을 포함한 다양한 가스를 사용하여 건식 또는 습식 화학 공정에서 작동 할 수 있습니다. 오라 2000LL (Aura 2000LL) 이 제공하는 독특한 기능 중 하나는 에칭 및 애싱 매개변수를 지속적으로 조정하여 최적의 결과를 제공하는 고급 자동 피드 포워드 (fed-forward) 장비입니다. 이를 통해 실제 프로세스 매개변수가 장치 설계의 설정 (setup) 매개변수와 일치하여 일관된 장치 성능과 생산성 향상을 보장할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LL에는 고급 자동 압력 및 온도 안정화 시스템이 있습니다. 이 단위는 공정 결과를 최적화하기 위해 에칭 (etching) 또는 애싱 챔버 (ashing chamber) 를 일정한 압력 및 온도로 유지하도록 설계되었습니다. 이 기계는 오염된 가스로부터 장치를 보호하고 에칭/애싱 처리량을 최대화하는 데 도움이됩니다. GASONICS AURA 2000 LL (GASONICS AURA 2000 LL) 의 초저온 작동은 열 충격으로 인한 장치 손상 위험을 제거하고 장치에 대한 열 영향을 최소화합니다. 이 기능은 또한 웨이퍼 (wafer) 의 스트레스를 줄여 장치 생산량을 향상시키는 데 도움이됩니다. 마지막으로, AURA 2000 LL에는 배치 처리, 자동 가스 조정, 프로세스 로깅 등의 고급 자동화 및 프로세스 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 다양한 기판 및 장치 설계에 대한 프로세스를 빠르고, 정확하게 설정하고, 실행하고, 설정할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL에 내장 된 자동 교정은 운영자 오류를 제거하고 장치 수율을 개선하는 데 도움이 됩니다.