판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293658974

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL은 실리콘, 금속, 화합물 반도체 재료 및 사진 저항을 포함한 광범위한 재료를 처리하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 장비는 고급 증기 단계 에칭 기능을 갖추고 있으며, 마이크로 일렉트로닉, 생의학 및 기계 응용을위한 재료의 고성능 처리를 가능하게합니다. GASONICS Aura 2000LL etcher/asher는 저압, RF 주파수 가스를 사용하여 전도성 및 비 전도성 재료를 정확하게 에치하는 한편 뛰어난 균일성과 처리량을 유지합니다. 또한 고급 진단 및 프로세스 제어 시스템 (diagnostic and process control systems) 을 활용하여 프로세스 반복성을 보장하고 프로세스 전반에 걸쳐 정확성을 유지합니다. 이 기계는 전문 사용자 (Professional User) 와 아마추어 사용자 (Amateur User) 의 요구에 맞게 조정되었으며, 자동/수동 튜닝 기능을 통해 초보자와 숙련된 사용자 모두에게 쉽고 간편한 작업을 제공합니다. 기계는 2 개의 모듈, 즉 공정 챔버와 에칭 가스 전달 시스템으로 구성됩니다. 메인 챔버 (Main Chamber) 는 최대 5 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 전체 표면에서 에칭 균일성을 극대화하기 위해 완전히 오목한 확산 판을 가지고 있습니다. 가스전달장치 (Gas Delivery Unit) 는 디지털 압력제어 기능을 탑재해 가스흐름 조정을 통해 정확한 에칭을 가능하게 한다. 통합 제어 시스템 (Integrated Control Systems) 을 사용하면 모든 에칭 매개변수를 완벽하게 제어하고 시각화할 수 있으므로 설정이 쉬워지고, 최상의 에칭 결과를 얻을 수 있는 프로세스를 단순화할 수 있습니다. 이것은 내장 단일 지점 탐지기 (single-point detection machine) 와 결합하여 에치 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 에칭 진행 상황을 나타내는 판독값을 생성합니다. NOVELLUS AURA 2000 LL etcher/asher는 광범위한 에칭 응용 프로그램에 적합한 매우 정확하고, 안정적이며, 생산적인 도구입니다. 탁월한 프로세스 제어 (process control) 기능은 복잡하고 정확한 방법으로 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용이 간편합니다. 이 기계는 고정밀 에칭 (etching) 을 필요로 하는 모든 어플리케이션에 적합하며, 유지 보수가 적고 경제적인 설계를 통해 모든 규모의 작업에 적합합니다.