판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247833

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 고급 연구 및 개발을 위해 최첨단 에칭 및 재 처리 기능을 제공하는 고성능 화학 에처/애셔입니다. 확장 (scale-down) 장치 구성 프로세스를 위해 특별히 설계된 이 제품은 직경이 0.5 ~ 6인치인 기판을 처리할 수 있습니다. GASONICS Aura 2000 (GASONICS Aura 2000) 은 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어하여 사용자가 원하는 결과를 얻을 수 있도록 전력 및 가스 구성을 정확하게 조정할 수 있도록 합니다. 이러한 유연성은 고급 프로세스 제어 기술 (process control technology) 에 의해 뒷받침되며, 이를 통해 사용자는 에칭 및 애싱 시 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. NOVELLUS Aura 2000의 고급 디자인은 에칭과 재싱에 필요한 시간을 최소화합니다. 고정밀 노즐 어셈블리, 고급 프로세스 제어 기술, 빠른 발사 시간, 더 큰 직경의 웨이퍼 지원 기능으로 인해 많은 응용 프로그램에 이상적인 에처/애셔 (etcher/asher) 가 됩니다. 오라 2000 (Aura 2000) 도 반복 가능하므로 사용자는 여러 패스에서 동일한 결과를 자신있게 재현할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 또한 고급 로드 잠금 기술을 특징으로하여 오염으로부터 웨이퍼 보호를 보장합니다. 광학 포토 아이 감지 (photo-eye sensing) 및 프로세스 자동화를 제공하며, 다양한 크기와 웨이퍼 기판 모양을 수용할 수있는 조정 가능한 로드 락 챔버가 있습니다. GASONICS Aura 2000은 효율적인 운영 및 사용 편의성을 위해 설계되었습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 및 그래픽 프로세스 모니터링을 통해 사용자는 원하는 결과를 얻을 수 있는 Etching 및 Ashing 매개변수를 신속하게 조정할 수 있습니다. 저체중은 에처/애셔 (etcher/asher) 를 한 위치에서 다른 위치로 옮길 필요가있는 사람들에게 추가 된 혜택입니다. 전반적으로 NOVELLUS Aura 2000은 고급 프로세스 제어 기술을 통해 최첨단 에칭 및 재 처리 기능을 제공하는 고성능 etcher/asher입니다. 빠른 발사 시간, 반복 가능성, 대형 기판 수용 능력 등을 제공하므로, 다양한 고급 연구 개발 (Research and Development) 애플리케이션을 위한 최상의 선택입니다.