판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9233409

ID: 9233409
웨이퍼 크기: 8"
Asher, 8" Model no: 99-0339 Install type: Tabletop Machine run time: 9,646 Hours Filament run time: 16,005 Hours Wafer passes: 7132 Includes: AURA 2000LL PR Strip BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump Microwave generator: NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E Position: Main chamber Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model 1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL 2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 반도체 산업의 고급 요구를 위해 특별히 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 이 강력한 에처 (etch) 는 에치 (etch) 와 애쉬 (ash) 기술의 독특한 조합을 사용하여 최고의 품질 및 신뢰성 표준을 충족하는 회로 기판과 집적 회로를 생성합니다. GASONICS Aura 2000에는 다양한 고급 기능이 장착되어 있어 최적의 etch/ash 성능 및 결과를 보장합니다. 울트라 하이 해상도 (Ultrahigh Resolution) 광학 장비는 인치당 최대 25,000 줄의 해상도를 제공하여 에칭 및 애싱 프로세스에서 최고 수준의 정확도를 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 복잡한 회로 패턴의 정확한 에칭을 위해 석영 및 이온화 된 가스 챔버 (quartz and ionized gas chamber) 와 금속 청소 및 식각 용 고압 에치 챔버 (etch chamber) 를 사용합니다. NOVELLUS Aura 2000에는 다양한 고급 재료 처리 기능도 있습니다. 고속 웨이퍼 처리 장치 (High-Speed Wafer Handling Unit) 는 장치를 빠르고 효율적으로 로드하고 언로드하는 반면, 고급 로봇 기반 웨이퍼 분류기는 정밀 이동 및 배치를 제공합니다. 또한 컨베이어 기반 전송 머신을 통해 최대 1,000 개의 I/O 포트를 통해 집적 회로를 정확하게 전달 및 처리 할 수 있습니다. 마지막으로, Aura 2000은 최적의 작동 조건을 보장하기 위해 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 이중 컨트롤러 (Dual Controller) 모듈은 다중 프로세스 실행을 모니터링하고 감독하며, 다양한 센서가 공구의 환경 조건에 대한 데이터를 제공합니다. 이 자산은 온도 조절 및 효율적인 작동을 위한 고급 냉각 (Advanced Cooling) 모델로도 제작되었습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 장비는 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 매우 강력한 에칭/애싱 장치입니다. 고급 광학 시스템 (Optics System) 과 재질 처리 (Material Handling) 기능을 통해 고품질, 안정적인 결과를 얻을 수 있으며 안전 기능을 통해 장치가 안전하고 안전하게 작동하도록 보장합니다.
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