판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9078051

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 에처/애셔 장비입니다. 고급 패턴을 한 자리 숫자 미크론 (micron) 으로 에칭하여 사용 가능한 가장 정확한 시스템 중 하나입니다. GASONICS Aura 2000은 초고 진공실에서 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 을 사용하여 매우 정확한 에칭 결과를 얻습니다. 시스템에는 원하는 에칭 정확도에 따라 2.45 GHz 또는 2450 MHz 주파수의 두 가지 ECR 에칭 기능이 있습니다. NOVELLUS Aura 2000에는 또한 저주파 플라즈마 클리닝 (plasma cleaning) 기능이 있으며, 이는 기판 표면의 손상 지점을 줄이고 에칭 결과를 개선하는 데 사용됩니다. 이 장치에는 직관적인 제어 인터페이스가 있으며, 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI) 가 있어 에칭 프로세스를 쉽게 제어할 수 있습니다. 오라 2000 (Aura 2000) 에는 여러 기판에 여러 레시피를 설정할 수있는 자동 레시피 머신이 있습니다. 또한 이더넷 연결 또는 광섬유 링크를 통해 원격 액세스 기능을 지원합니다. 또한 SCSI-2 및 RS-232 와 같은 표준 업계 인터페이스도 사용할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000의 기계적 구성 요소의 정밀도는 고급 패턴과 기능을 에칭하는 데 적합합니다. 선형 단계 (Linear Stage) 는 3 개의 축으로 기판을 정확하게 이동할 수 있으며, 동력 질량 흐름 및 진공 시스템은 높은 안정성과 정확도로 작동 할 수 있습니다. 에셋은 에칭 (etching) 프로세스의 정확성을 향상시키는 데 도움이 되는 매우 정확한 목표 모델을 갖추고 있습니다. GASONICS Aura 2000 (GASONICS Aura 2000) 의 고급 프로세스 레시피를 사용하면 기판의 요구 사항에 따라 에칭 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 검색 결과 없이 다양한 유형의 재료를 에치 (etch) 할 수 있습니다. 장비에는 자동 조정 (auto-tune) 기능도 있으며, 서로 다른 기판에 대한 에칭 매개변수를 최적화하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 NOVELLUS Aura 2000은 매우 정확한 에칭 결과를 달성 할 수있는 고급 etcher/asher 시스템입니다. 이 장치에는 직관적인 제어 인터페이스 (Control Interface) 와 원격 액세스 기능뿐만 아니라, 고정밀 조준 머신과 고급 프로세스 레시피가 있습니다. 반도체 업계 애플리케이션의 고급 (advanced) 기능을 위한 최적의 선택이다.