판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293761940

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치의 제조에 사용되는 에처/애셔입니다. 생산 및 엔지니어링에 사용되는 대부분의 일상적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 응용 프로그램을 처리하는 데 적합합니다. 이 장비는 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 프로세스를 제공하며, 뛰어난 수준의 유연성과 정밀성을 유지하도록 설계되었습니다. GASONICS Aura 2000은 기판 청소 및 재료 에칭을 최적화하도록 설계된 특허 된 3 단계 프로세스를 사용합니다. 프로세스의 첫 번째 단계는 에칭 단계입니다. 이 단계에서, 필요한 에칭 화학 및 수동성 층이 기질에 적용된다. "에칭 '화학 과 수동성 층 은" 기질' 에 존재 할 수 있는 유기· 금속성 오염 물질 을 분해 하여 깨끗 한 기질 표면 을 남기도록 설계 되었다. 두 번째 단계는 재싱 단계입니다. 이 단계 에, 산소 를 약실 에 투입 하여 "애싱 '과정 을 시작 한다. 산소 는 표면 오염 물질 과 반응 을 나타내어, 산화 시켜, 고체 에서 기체 형태 로 변화 시킨다. 또한, 애싱 (ashing) 공정은 에치 (etch) 공정에서 남은 잔류 물을 제거하는 데 도움이됩니다. 프로세스의 마지막 단계는 청소 단계입니다. 이 단계에서, 챔버에는 질소 가스가 침수되어 남은 공정 잔류 물을 플러시 (flush) 하는 데 도움이됩니다. 질소 "가스 '는 또한" 챔버' 대기권 으로부터 불순물 을 걸러 내는 데 사용 되므로 "챔버 '내부 의 깨끗 하고 균일 한 대기 를 보장 한다. NOVELLUS Aura 2000에는 전체 프로세스 모니터링 및 자동화 기능이 장착되어 있어, 프로세스 제어 및 반복 기능이 정확합니다. 이 시스템에는 통합 컨트롤러도 장착되어 있어 단위 프로그래밍 (unit programming) 과 프로세스 최적화 (process optimization) 가 용이합니다. 또한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 이 도구를 쉽고 빠르게 설정하고 제어할 수 있습니다. Aura 2000은 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다. 이 자산은 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 프로세스 성능을 보장하는 한편, 탁월한 수준의 유연성과 정확성을 제공합니다. 통합 자동화 솔루션을 통해 GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 많은 에칭 및 애싱 프로세스에 비용 효율적이고 효율적인 솔루션입니다.