판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654417

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 집적 회로 제조에 사용되는 가볍고 깊은 반응성 이온 에칭/애셔 장비입니다. 금속화 레이어, 접촉 및 비아, 기타 금속 또는 반도체 구조 및 금속 라인의 형상을 생성, 수정 및 최적화하는 데 사용됩니다. 금속 라인과 패턴 (pattern) 의 초미세 처리를 위한 고급 도구이며, 금속 구조에 대한 정확성과 차원 제어가 뛰어납니다. 이 시스템은 고속 기화기 (vaporizer) 를 사용하여 액체 금속 용액을 기판 표면에 전달되는 증기로 변환합니다. 기화 된 금속 입자는 미세하게 제어 된 방식으로 증착되며, 사전 청소 (pre-clean) 기능이 내장되어 있어 포토 esist 접착을 최적화하고 결과 오염 확률을 최소화합니다. 금속 층이 형성되면, 기판은 플라즈마 원자로 (plasma reactor) 에 배치되며, 여기서 반응성 이온 에칭 공정은 압력, 전력, 드웰 타임 등의 조절 가능한 매개변수에 의해 최적화 될 수있다. GASONICS Aura 2000 (GASONICS Aura 2000) 은 뛰어난 균일성과 선택성을 자랑하여 "테이퍼 링 (tapered)" 처리에 완벽한 선택으로 두껍고 얇은 금속 라인을 동일한 패턴으로 에칭 할 수 있습니다. 또한 3 차원 물체에서 다중 레이어 금속화를 가능하게하는 투명 인슐레이션 재료의 에칭을 허용합니다. 이 장치는 유연한 프로세스 레시피와 통합 데이터 로깅을 제공하는 GASONICS TM 10X 운영 플랫폼 (Operating Platform) 으로 구동되며, 운영자에게 공정 제어와 획득한 구조물의 상세한 평가를 제공합니다. 또한 기계의 편리한 제어 및 모니터링을 위한 16 "LCD 모니터가 포함되어 있습니다. NOVELLUS Aura 2000은 뛰어난 에칭 결과와 깨끗함으로 유명합니다. 강력한 구조는 반응성 이온 에칭 (reactive-ion etching) 프로세스에 사용되는 매우 높은 온도에서도 안정적인 작동 및 안정성을 보장합니다. 유지 보수 및 배출량이 매우 낮아 환경 친화적 인 에칭 시스템 (etching system) 중 하나입니다.