판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654416

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 반도체 제조 산업에 사용되는 에처 및 애셔입니다. 그 독특 한 물리적 설계 는, 많은 경쟁자 들 보다 더 작은 설치 공간 을 가지고 있기 때문 에, 단단 하고 혼잡 한 프로세스 라인 (process line) 에서 사용 하기 에 이상적 이다. 이 기계는 고급 광학, 이미지 감지, 강화 된 로봇 제어 (robotic control) 를 특징으로하여 장비가 처리 수율을 크게 늘릴 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 로드 및 언로드, 가스 전달 및 증착, 웨이퍼 정렬 및 패턴 (patterning) 등 다양한 자동 기능이 있습니다. 효율적인 디자인과 신뢰할 수있는 프로세싱의 독특한 조합으로 인해 GASONICS Aura 2000은 반도체 제조에 이상적인 선택입니다. 이 기계는 특수한 FLIS (Fast-Track Laser Image Scanning) 시스템으로 설계되어 웨이퍼에서 원하는 패턴을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 장치는 에칭 정밀도가 매우 높으며, 프로세스 유연도가 훨씬 높습니다. 또한 광학 멀티플렉서 (Optical Multiplexer) 를 사용하면 최대 8 개의 동시 에칭 작업을 수행하여 처리량을 늘리고 기계의 기능을 최대화할 수 있습니다. 원하는 에칭 매개변수에 따라, 기계는 선 너비 배율 조정, 금속 패턴, 금속 레이어 배치 (metal layer deposition), 사용자정의 설계 패턴 등 다양한 프로세스 유형에 사용될 수 있습니다. 가스 및 증착 전달 측면에서, NOVELLUS Aura 2000에는 5 밸브 가스 전달 도구가 장착되어 있으며, 이를 통해 자산은 최대 15 개의 가스를 동시에 효과적으로 처리 할 수 있습니다. 이 모델에는 주유소 (gas delivery station) 가 포함되어 있으며, 여기에는 자동 제거 장치 (auto purge unit) 와 가스 제어 스테이션 (gas control station) 이 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 완전하게 자동화된 핸들러 (handler) 장비를 갖추고 있어 처리량을 높이고 수작업 비용을 절감할 수 있습니다. 더욱이, 시스템은 고급 로봇 제어 (robotic control) 덕분에 미리 정의된 에치 레이어를 시간 없이 웨이퍼에 배치 할 수 있습니다. 또한 Aura 2000은 여러 가지 안전 기능으로 설계되었습니다. 이중압 여과 장치 (Dual-Pressure Filtration Unit) 는 챔버에 들어가기 전에 가스를 정화시키는 데 도움이 되며, 레이저 안전 인터 록 (Laser Safety Interlock) 과 위험 물질의 사용으로 인한 사고를 방지하기위한 여러 보호 장치 (Multiple Safeguard) 가 포함되어 있습니다. 또한, 기계는 안전성을 강화하기 위해 전기 및 음극선 보호를 모두 갖습니다. 요약하면, 응용 프로그램에 관계없이 GASONICS/NOVELLUS Aura 2000은 효율적이고, 안정적이며, 안전한 에칭 및 재싱에 이상적인 선택입니다.