판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9398806

GASONICS / NOVELLUS Aura 1000
ID: 9398806
웨이퍼 크기: 6"
Asher, 6".
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 고급 칩 스케일 기능 설계를 가능하게하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 장비는 2 ~ 10 인치 크기의 기질에서 유전체 및 도체 층의 복잡하고 복잡한 에칭을 수행 할 수 있습니다. 또한 polyimide, polysilicon 및 metal을 포함한 모든 종류의 재료를 처리 할 수 있습니다. GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 에칭의 정밀도 및 정확도, 최소 기능 크기 0.5 µm 및 뛰어난 마무리를 제공합니다. 이 장비는 엔드 포인트 감지 시스템 (End-Point Detection System) 을 사용하여 에치 레이트와 엔드 포인트를 제어하며, Fabless 멀티 도핑 기술을 통해 프로세스 내에서 정확한 도핑 측정이 가능합니다. 이 도구는 또한 디지털 폐쇄 루프 제어 시스템 및 합성 제트 청소 프로세스를 갖추고 있습니다. Auras 1000은 운영 비용 절감, 프로세스 효율성 향상 등 다양한 이점을 제공합니다. 혁신적인 소프트웨어 플랫폼은 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 와 조절 가능한 도구를 통해 출시 시간을 단축할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비는 또한 절차 적 단순성과 향상된 생산 처리량을 결합합니다. 이렇게 하면 수동 매개 변수 조정이 제거되어 오류 없이 처리할 수 있습니다. NOVELLUS Aura 1000 (NOVELLUS Aura 1000) 은 신뢰성이 높으며 작업 및 제한된 공간을 편집할 수 있는 청소실 호환 환경을 제공합니다. 또한, 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 사용자와 운영자의 안전이 해를 입지 않도록 안전 조치를 구현해야합니다. Aura 1000의 설계 및 건설 (design and construction) 은 또한 마모와 눈물로 인해 장비와 구성 요소를 장기 손상으로부터 보호합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 환경 친화적이며, 타입의 기존 장비에 비해 배출량과 소음이 적습니다. 게다가, 그 설계는 에너지 효율적이며, 유사한 에칭 시스템보다 약 15% 적은 에너지를 소비합니다. 결론적으로, GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 유전체 및 금속 층의 복잡하고 정밀한 에칭을 가능하게하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. 정밀도, 높은 처리량, 사용 편의성, 안전성 기능의 조합으로, 사용하기 쉽고 효율적인 etcher/asher를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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