판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9390033

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 딥 트렌치 컨택트 패턴화 및 플래시 메모리와 같은 고급 반도체 애플리케이션에 사용되는 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 구리 (copper) 및 전금속 유전체 습식 (pre-metal dielectric wet etching) 을 포함한 독점적 인 고급 에치 기술을 사용하여 뛰어난 전기 성능으로 높은 수율을 생산합니다. GASONICS Aura 1000에는 다양한 고급 에치 화학이 장착 된 3 개의 구성 가능한 프로세스 모듈이 있습니다. 장치의 처리 헤드는 각 재료 및 피쳐의 특정 에치 (etch) 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 강력한 자동화 소프트웨어를 사용하여 조정 가능한 etch 매개 변수를 사용하고 오류 없는 프로세스를 실행합니다. 기계에는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 수용하기 위해 고급 로터리 척 (rotary chuck) 이 장착되어 있으며, 다른 기판 사이를 자동으로 전환하는 기능이 있습니다. 또한 구리 기둥과 TSV 스택과 같은 평면 및 3D 구조를 모두 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS Aura 1000의 주요 장점 중 하나는 단일 런으로 대량의 기판을 처리 할 수있는 능력입니다. 다른 에칭 시스템과 비교하여, Aura 1000은 최대 24 개의 웨이퍼를 동시에 처리하여 웨이퍼 처리량을 높이고 시간을 절약 할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 처리 기능 외에도 고급 모니터링 시스템을 통해 일관된 성능과 안정적인 결과를 보장합니다. 이 도구는 고급 수준 도량형 (Advanced Level Metrology) 도구를 사용하여 에치 속도를 지속적으로 측정하고 에셋 매개변수를 조정하여 최적의 프로세스 제어를 수행합니다. 전반적으로 GASONICS Aura 1000은 고급 기능 및 구조를 에칭 및 애시하는 데 이상적인 플랫폼을 제공합니다. 노벨 러스 오라 1000 (NOVELLUS Aura 1000) 은 다양한 에칭 기능과 탁월한 프로세스 제어를 제공하여 제품의 생산성과 생산성을 향상시키는 동시에 안정적이고 비용 효율적인 프로세스 솔루션을 제공할 수 있습니다.