판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9284336

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 반도체 제조 공정을 위해 개발 된 고성능 에처/애셔입니다. 이 제품은 비용 효율적이면서도 신뢰성이 뛰어나며, 다양한 프로세스에서 기판을 처리할 수 있는 안정적이고 정밀한 플랫폼 (platform) 을 제공하도록 설계되었습니다. GASONICS Aura 1000은 빠르고 정확한 패턴화를 위해 특허를받은 APC (Auto-Polarity Conversion) 기술을 갖추고 있습니다. 이 장비는 다른 시스템에 비해 더 큰 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공하며, 종횡비가 높고 기판이 다른 시스템을 에칭 할 수 있습니다. 이 에처는 ALD, Plasma Clean 및 CVD (Chemical Vapor Deposition) 프로세스를 사용하여 패턴 선택 프로세스, 수직 정렬 모양 피쳐 및 진정한 단계 높이 복원을 수행합니다. NOVELLUS Aura 1000은 정확한 기판 처리 및 포지셔닝을 위해 Starning Centricity Substrate Transfer System을 사용합니다. 이 장치는 기판의 정확한 로드, 위치 지정 및 회전을 제공합니다. 다른 기능으로는 자동 레벨링, 자동 웨이퍼 매핑, S 단계 확장 및 확장 처리 처리량이 있습니다. 또한, 이 에처는 초음파 및 웨이퍼 클리닝 기술을 갖춘 통합 기판 클리닝을 특징으로합니다. 이것은 기판 표면을 효율적이고 정확하게 청소합니다. 또한, Aura 1000의 플라즈마 머신은 낮은 입자 여과를 사용하여, 장치에 해를 줄 수있는 입자의 축적을 줄입니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000에는 온도, 압력 및 기타 프로세스 매개 변수에 대한 실시간 모니터링을 제공하는 고도로 통합 된 작동 도구가 제공됩니다. 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 사용자 정의할 수 있는 연산자 유연성을 제공하는 다양한 프로세스 레시피, 프로파일, 설정도 있습니다. 이 에처는 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하며, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스, 종합적인 내장 문서 등을 제공합니다. 전체적으로 GASONICS Aura 1000은 정밀 반도체 제조를 위해 고급적이고 안정적이며 비용 효율적인 에처입니다. 기술적으로 향상된 설계, 통합 프로세스 (integrated process) 및 기판 처리, 세심한 청소 절차는 오늘날의 고급 반도체 장치에 효율적이고 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 자산을 제공합니다.