판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9242400

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 광범위한 응용 프로그램을 갖춘 첨단 기술 에처/애셔입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있으며 최소한의 운영자 (operator) 교육을 통해 작업할 수 있도록 설계되어 있어 복잡한 에칭 (etching) 및 클리닝 작업을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 이 장비는 저전압 음극선 튜브 플라즈마 소스 (plasma source) 를 특징으로하며, 균일성을 유지하면서 다양한 온도 및 깊이에서 에치 할 수 있습니다. 디스플레이 화면은 풀 컬러 LCD (Full Color LCD) 로, 시스템의 온보드 컴퓨터에 직접 연결되며, 사용자가 에칭 매개변수를 쉽게 제어할 수 있습니다. GASONICS Aura 1000에는 통합 본더/데본더 유닛이 있으므로 빠르고 정확한 웨이퍼 부착 및 제거가 가능합니다. 이 장치는 빠른 배치 처리가 가능합니다. 즉, 한 번의 배치에서 수백 개의 웨이퍼를 에치 (etch), 세척 (wash) 및 청소 (clean) 할 수 있으므로 처리량이 크게 증가합니다. Plasma-Guard 기계는 더 나은 프로세스 제어를 보장하기 위해 장애 안전 보조 청소 단계를 제공합니다. NOVELLUS Aura 1000에는 반응성 이온 에칭 및 플라즈마 화학 에칭이라는 2 단계 물리적 에칭 프로세스가 있습니다. 이를 통해 사용자는 정확한 etch 깊이와 정확한 프로세스 시간을 달성 할 수 있습니다. 에칭 (etching) 프로세스를 통해 다중 레이어 포토레지스트 (photoresist) 또는 구리 구조를 생성할 때 중요한 레이어 얇게 (thinning) 를 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 장치는 긴 서비스 수명을 위해 제작되었으며, 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 이 도구는 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 액세스되며, 문제 해결 및 진단 기능을 통해 작업을 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로 Aura 1000은 효율성, 정확성 및 편의성을 위해 만들어진 직관적인 고급 에칭 자산입니다. 광범위한 기능과 자동화 수준 (automation level of automation) 을 통해 다양한 wafer 및 component 프로세스를 위한 탁월한 성능을 제공하여 에칭 (etching) 또는 클리닝 (cleaning) 애플리케이션을 선택할 수 있습니다.