판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9241898

ID: 9241898
Asher.
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 초정밀 집적 회로 제작에 사용되는 고품질 에처 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 액티브 가스 소스 (Active Gas Source) 를 사용하여 매우 높은 정확도로 재료를 예치하여 오늘날의 고밀도 집적회로의 고급 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 요구 사항에 대한 탁월한 선택입니다. GASONICS Aura 1000은 6 개의 개별 가스 원으로 설계되어 독립적 인 산소, 불소 및 공기 기반 가스를 허용합니다. 이 장치는 또한 더 큰 정확도를 얻기위한 고급 챔버 (advanced chamber) 디자인을 자랑하며, 이는 비 습식 통합 가스 장벽을 사용하여 추가 변경 될 수 있습니다. 이 약실 은 또한 입자 수 를 감소 시키도록 설계 되었으며, 이것 은 "에치 '와 회분 과정 의 정확도 와 충실도 를 더욱 향상 시켜 준다. 추가 제어 옵션을 통해 NOVELLUS Aura 1000은 더욱 강력한 성능과 유연성을 제공합니다. 여기에는 가스 및 배기 미립자를 효과적으로 제거 할 수있는 고급 배기 기계, 정밀 패턴 생성을 위해 특별히 설계된 리소그래피 도구, 터치 작동 터치 스크린 컨트롤 (touch-operating touchscreen control) 이 포함됩니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 Aura 1000은 현재 사용 가능한 시스템 중 하나입니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 일반적으로 사용 가능한 에칭 및 애싱 시스템과 호환되며, 다양한 응용 프로그램을 더욱 확장합니다. 이 제품은 Series 9400, Series 9500 및 Series 9700 오류 수정 시스템에서 사용되도록 설계되어, 빈번하고 일관된 증착이 가능합니다. 자산은 기판에 재료를 똑바로 배치하기에 충분히 정확하며, 이는 프로세스를 크게 단순화합니다. 마지막으로, GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 원래 장비로 작동하도록 설계된 추가 액세서리 또는 소모품이 필요하지 않습니다. 따라서 설치 비용이 많이 들지 않으며, 복잡한 설치 절차가 필요 없습니다. 장비의 업그레이드, 정확하고 정확한 결과 유지 (Mainting Access) 와 관련하여 이러한 이점을 얻을 수 있습니다. 간단히 말해서, NOVELLUS Aura 1000은 정확도, 정확한 제어 및 비용 효율성을 갖춘 고급 모델로, 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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