판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9210307

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 반도체 생산 및 기타 복잡한 프로세스에 사용되어 정확하고 반복 가능한 제어가 필요한 정교한 etcher/asher입니다. 알루미늄 및 기타 재료를 200mm 및 300mm 웨이퍼로 처리하기위한 고 처리량, 고급 애싱 장비입니다. 이 제품은 다양한 기판을 처리할 수 있으며, 처리량 (throughput) 과 잔류 (resist residue) 감소 측면에서 탁월한 성능을 제공합니다. GASONICS Aura 1000은 알루미늄 및 기타 재료를 정확하고 정확하게 에칭하는 고급, 특허 에치 기술을 갖추고 있습니다. 확장 가능한, 높은 처리량, 균일 한 에치 (etch) 프로세스를 통해 광범위한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 비대칭 코팅 (asymmetric coating) 과 대칭 코팅 (symmetric coating) 을 조합하여 기판을 언더컷하지 않고 단단한 공차 내에서 에칭할 수 있습니다. 2 챔버 시스템은 또한 개별 처킹 (chucking) 및 애싱 (ashing) 기능을 갖추고 있어 필요에 따라 프로세스를 세밀하게 조정하고 제어 할 수 있습니다. NOVELLUS Aura 1000에는 빠르고 쉬운 설치 및 유지 관리를 위해 모듈식 디자인이 포함되어 있습니다. 오라 1000 (Aura 1000) 은 다양한 프로세스의 요구를 충족하기 위해 광범위한 유닛 커브, 전원 수준, 챔버 구성을 지원합니다. 이전 시스템에 비해 100 배 낮은 처리율 (비용 및 시간 절약) 을 자랑하며, 중요한 차원의 변화를 최대 50% 까지 효과적으로 줄일 수 있습니다. 높은 처리량, 균일 한 에치 프로세스는 웨이퍼 두께 균일성에 대한 제어를 향상시키고 반복 가능한 생산 준비 결과를 제공합니다. 이 시스템에는 프로세스 흐름 프로그래밍, 모니터링, 발전을위한 넓고 직관적인 사용자 인터페이스도 있습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 일관되고 뛰어난 결과를 보장하기 위해 고급, 독점 취급 기술 및 고급 기후 제어를 사용합니다. 에칭 (etching) 및 저항 (resist) 스트리핑 프로세스에서 뛰어난 반복성과 균일성을 제공하여 최적화된 프로세스를 보장합니다. 고급 웨이퍼 처리 기술 (Advanced Wafer Handling Technology) 은 추가 장비 없이도 에칭과 애싱 사이를 쉽게 전환할 수 있는 유연성을 제공합니다. 온도 조절 챔버는 또한 향상된 N2 순도 및 더 높은 수준의 프로세스 반복성을 보장합니다. 또한 GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 고급 자체 진단 기능과 상세한 보고서를 제공하여 최적의 도구 성능을 보장합니다. 고급 센서와 에치 (etch) 환경을 완벽하게 제어하여 매개변수를 충족시킵니다. 또한 고급 자동화 (Advanced Automation) 옵션을 사용하여 사용자가 즉석에서 조정하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS Aura 1000은 강력하고 고효율 etcher/asher로, 광범위한 재료를 처리 할 수 있습니다. 경제적인 솔루션으로, 다양한 프로세스에 대해 반복 가능하고 정확한 결과를 제공합니다. 또한 설치, 유지 보수가 용이하여 안정적이고 장기적인 성능을 보장합니다.