판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9194328

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 나노 패턴화 민감성 기판을 위해 설계된 산업용 에처/애셔입니다. 특허받은 진공 (vacuum) 기술을 활용하여 웨이퍼 배치에서 배치까지 에칭 속도, 깊이, 균일성 및 기능 정렬을 정확하게 제어할 수 있습니다. 에처/애셔에는 나노 스케일 패턴의 정확한 에칭을위한 매우 높은 정밀 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 이 소스는 오존이없는 헬륨 가스를 사용하며 분당 최대 20nm의 에치 레이트가 가능합니다. 정밀도가 높기 때문에, 이 장치는 0.02nm 균일성으로 2nm 순서로 피쳐 크기를 달성 할 수 있습니다. 여기에는 TCO (소유 비용) 를 낮추고 처리량을 극대화하기 위한 다양한 하드웨어/소프트웨어 기능이 포함되어 있습니다. 전원 공급 장치에는 수동 및 원격 제어 옵션이 포함됩니다. 사용자가 원하는 정확한 기능을 선택할 수 있도록 두 가지 기판 맵 (수동, 자동) 을 선택할 수 있습니다. GASONICS Aura 1000은 에치 레이트 (etch rate) 및 프로파일 제어를 포함한 완전한 테스트를 수행 할 수 있습니다. 사용자가 사용할 수 있는 옵션에는 필름 증착 (film deposition), 웨이퍼 이미징 (wafer imaging), 사전 에치 가스 컨디셔닝 (pre-etch gas conditioning) 및 기타 최첨단 옵션이 포함되어 있어 작은 피쳐를 보다 정확하게 에칭할 수 있습니다. 이 장치에는 에칭 (etching) 프로세스 개선에 대한 조언을 제공하는 프로세스 문제 해결 기능도 내장되어 있습니다. 이 장치에는 직관적이고 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 가 제공되며, 사용자가 프로세스를 설정하고 모니터링할 수 있도록 대화형 환경을 제공합니다. NOVELLUS Aura 1000에는 또한 사용자가 신속하게 문제를 진단하고 해결할 수있는 일련의 진단 도구가 있습니다. 이 장치는 또한 빠른 릴리스 로봇 (quick-release robotics) 을 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 최소한의 운영자 개입으로 웨이퍼를 다시 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한 다양한 웨이퍼 (wafer) 모양과 크기를 지원하므로 완벽한 패턴화 (patterning) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 전반적으로, Aura 1000은 사용자에게 세계적 수준의 성능과 안정성을 제공하도록 설계된 강력한 에칭 툴입니다. R&D (R&D) 와 소규모 생산 환경에 사용하도록 설계되어 다양한 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션에 적합합니다.