판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9188601

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 집적 회로 (IC) 제작에 사용되는 고급 리소그래피 프로세스에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. GASONICS Aura 1000은 고급 게이트 산화, CVD (chemical vapor deposition), PVD (physical vapor deposition) 및 ion implantation과 같은 광범위한 응용 및 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. 다중 단계 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 활용하여 정확한 프로세스 제어 및 향상된 에치 품질을 제공합니다. NOVELLUS Aura 1000 (NOVELLUS Aura 1000) 은 신뢰할 수 있는 작업 환경 및 장기 장비 신뢰성을 제공하는 견고한, 모듈식 및 확장 가능한 설계를 사용하여 조립됩니다. 최대 300mm 직경의 웨이퍼와 0.35mm (두께 범위) 의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 프로세스 제어와 향상된 etch 품질을 제공하는 다단계 아키텍처를 갖추고 있습니다. 전체 선반 간 균일성을 갖춘 자동 덮개 리프팅, 로드 및 언로드 시스템이 특징입니다. Aura 1000은 사이드 월 (sidwall) 을 최소화하면서 높은 해상도와 높은 화면 비율의 에칭을 제공할 수 있습니다. 고해상도 스캐너, 고급 마이크로 프로세서, 정밀 스퍼터링 건 (Sputtering Gun) 등 여러 가지 고급 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이러한 컴포넌트는 간격 (spacing) 및 선 너비 (line width) 를 지원하는 미세 피쳐를 제어하는 등 매우 정확한 에칭 기능을 제공하도록 설계되었습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000에는 작은 기능의 정확한 에칭을 위해 ZSC (High-Zone Scan Control) 장치가 장착되어 있습니다. 또한 빠른 에치 속도에 대한 빠른 스캔 기능이 있습니다. 기계의 고급 마이크로 프로세서 기능은 에칭 프로그램을 신속하게 구현합니다. 초고속 스캔 제어는 작은 기능의 보다 정확한 에칭을 보장합니다. 또한, 이 도구는 고압 원자 화 된 이온 화 된 물욕조와 같은 강력한 청소 기술을 갖추고 있으며, 이를 통해 에치 후 기판을 효율적이고 효과적으로 청소할 수 있습니다. 요약하면, GASONICS Aura 1000은 고급 리소그래피 프로세스에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 최대 300mm 직경과 0.35mm 두께 범위의 웨이퍼를 처리 할 수있는 모듈식 (modular) 확장 가능한 자산입니다. 이 모델에는 고해상도 스캐너, 고급 마이크로 프로세서, 정밀 스퍼터링 건 (Sputtering Gun) 등 여러 가지 고급 구성 요소가 장착되어 있습니다. 또한 빠른 에치 속도, 고급 기능 지원 간격 및 라인 너비를위한 초고속 스캔 제어, 고급 클리닝 기술, 작은 기능의 정확한 에칭을위한 ZSC (High-Zone Scan Control) 장비를 제공합니다.