판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9186489

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 실리콘 웨이퍼에서 고유 한 고해상도 에치 기능의 대용량 생산을 위해 설계된 차세대 에치 장비입니다. 고급 DD (Direct Drive) 플랫폼을 통해 보다 정확한 기능 에칭과 단순화된 프로세스 인프라를 구현할 수 있습니다. 에칭 매개변수 (etching parameters), 빠른 주기 시간, 뛰어난 필름 품질을 보다 효과적으로 제어하여 프로세스 결함이 줄어듭니다. GASONICS Aura 1000 은 GASONICS 현장에서 검증된 CVD 아키텍처를 기반으로 하는 최신 에치 (etch) 하드웨어를 탑재했으며, 다양한 에치 모듈로 구성할 수 있습니다. 에치 플레이트는 좁은 트렌치 및 기타 고급 에치 기능의 높은 정확도 패턴을 가능하게하는 에치 발전기의 MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) 어레이로 구동됩니다. 또한, 플랫폼은 시프트 레지스터 아키텍처 (Shift Register Architecture) 를 지원하여 에치 단계 간 웨이퍼 이동과 관련된 오버헤드 시간을 줄입니다. NOVELLUS Aura 1000 (NOVELLUS Aura 1000) 은 고급 레시피 최적화 알고리즘을 적용하여 안정적인 에치 성능을 유지합니다. 이 알고리즘은 에치 매개변수를 웨이퍼의 재료 속성에 맞게 자동으로 조정하여 일관된 에치 성능을 보장합니다. 이 기능은 고유 한 필름 또는 다중 레이어 구조를 사용하여 작업할 때 특히 유용합니다. Aura 1000에는 동봉 된 챔버, 안전 차단 스위치, 최신 연동 기술 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한 전기 서지 및 기타 손상 전력 문제에 대한 저항력을 갖도록 설계되었습니다. 또한, 이 장치에는 배기 필터 (exhaust filter) 가 장착되어 프로세스 영역에 존재하는 입자의 양을 줄입니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 (GASONICS/NOVELLUS Aura 1000) 은 최대 8 개의 웨이퍼를 병렬로 처리 할 수 있으며, 최신 고속 통신 프로토콜을 사용하여 높은 처리량과 반복성이 필요한 시스템에 적합합니다. 또한 자동화 시스템을 포함한 업계 표준 툴 및 인프라와도 호환됩니다. 전체적으로 GASONICS Aura 1000은 높은 정확도 에칭, 빠른 주기 시간, 단순화 된 프로세스 인프라를 갖춘 업계 최고의 에치 머신입니다. 안정적인 성능과 안전 기능을 갖춘 NOVELLUS Aura 1000은 반도체 에칭 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.