판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9171308

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 석판 공정의 최첨단 요구를 충족시키기 위해 설계된 Goliath 수준의 에치 시스템입니다. GASONICS는 정밀 컴퓨터 제어 RF 난방 요소를 포함하는 단일 트렌치 유사 챔버 (trench-like chamber) 를 갖추고 있어 탁월한 정확성과 프로세스 균일성을 제공합니다. 가소 닉스 오라 1000 (GASONICS Aura 1000) 의 에치 챔버 (Etch chamber) 는 고성능 세라믹으로 코팅 된 실리콘 및 쿼츠 기반 재료로 만들어져 방이 부식과 입자로부터 보호됩니다. 내부에, 챔버에는 통합 로테이터 (integrated rotator) 가 장착되어 전체 기판에 대한 균일 한 난방 공정이 가능합니다. NOVELLUS Aura 1000 (NOVELLUS Aura 1000) 에는 챔버에 진공 환경을 구축하기위한 고급 기계 진공 제어 장비도 포함되어 있습니다. 이것은 추가 RF 가열 요소와 결합하여, 기판 재료의 구조에 영향을 미치지 않고 균일 한 기판 프로파일을 활성화합니다. Aura 1000에는 Smart Process Control (스마트 프로세스 제어) 이라는 에칭 프로세스를 모니터링하기위한 고급 시스템도 장착되어 있습니다. 이 단위는 챔버에서 에칭 환경을 측정 및 모니터링하는 역할을 하며 프로세스 (예: 온도, 압력, RF 주파수 수준) 의 측면을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 프로세스 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 따라 조정 (adjustment) 할 수 있도록 프로그래밍됩니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 (GASONICS/NOVELLUS Aura 1000) 에는 에칭 챔버에 직접 재료를 정확하게 전달 할 수있는 고정밀 재료 전달 도구가 있습니다. 정밀 전사 챔버 (Precision Transfer Chamber) 가 표준으로 장착되어 깨끗하고 정밀도가 높은 재료 전달과 높은 기판 처리량을 보장합니다. 추가 예방 조치로서, 기계는 또한 공수 입자가 챔버에 들어가는 것을 방지하는 고압 리턴 에셋 (high-pressure return asset) 을 포함합니다. GASONICS Aura 1000은 실리콘과 석영에서 금속, 도자기에 이르기까지 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 마이크로비아 (microvias), 트렌치 (trench), 마스크 레이어 (mask layer) 와 같은 가장 어려운 구조를 포함하여 다양한 재료의 최적의 에칭을 허용하도록 매개변수를 조정할 수 있습니다. NOVELLUS Aura 1000 (NOVELLUS Aura 1000) 은 모든 에칭 및 애셔 시설에 유용한 도구이며 프로세스의 효율성과 정확성을 크게 높일 수 있습니다. 민감 한 구조 를 처리 하든지, 딱딱한 합금 재료 이든, 이 기계 는 "에칭 '을 위한 강력 하고 믿을 만한 선택 이다.