판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9105746

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 GASONICS와 NOVELLUS의 기존 강점을 결합하여 강력하고 높은 처리량 도구를 만드는 고급 에처 및 애셔입니다. GASONICS/NOVELLUS RIE (Low Temperative Reactive Ion Etching) 기술과 GASONICS 고온 프로세스 기술을 사용하여 GASONICS Aura 1000은 광범위한 재료를 처리 할 수 있으므로 모든 연구 개발 또는 상업용 응용 분야에 이상적인 선택입니다. NOVELLUS Aura 1000은 다양한 온도 (필요한 경우 최대 700 ° C) 에서 에치를 수행하여 품질 에치 프로파일과 높은 처리량을 보장 할 수 있습니다. NOVELLUS RIE 시스템은 저온, 고도로 유도 코일 및 제어 전자 장치로 구성되며, 정확한 온도, 압력 및 에친트 흐름 제어를 허용합니다. 이를 통해 일관된 에치 프로파일과 프로세스 반복성을 보장할 수 있습니다. Aura 1000은 또한 GASONICS/NOVELLUS 방향성 마이크로 하워 RIE를 통해 고급 에치 백 기능을 제공합니다. 이 과정을 통해 수직 (vertical) 프로세스와 수평 (horizontal) 프로세스 모두에서 정밀도, 반복성이 높은 방향성 에치가 가능합니다. 예를 들어, 백사이드 에칭 프로세스를 제어하여 필요한 깊이, 공백 (void), 피쳐 형태 및 크기를 확인할 수 있습니다. GASONICS RIE 및 NOVELLUS 방향 마이크로하워 기술의 조합은 배치 (batch) 및 단일 웨이퍼 (single-wafer) 모드 모두에서 사용할 수 있으므로 방향 에칭이 필요한 연구 및 생산 프로세스 모두에 이상적인 도구입니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 개방형 플랫폼을 갖춘 플러그 앤 플레이 (plug-and-play) 툴로 구성 가능합니다. 다양한 액세서리 (accessory) 와 옵션 (options) 을 사용하여 시스템을 워크플로우에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS 및 GASONICS의 주요 기술을 모두 활용하도록 설계되었으며, 어플리케이션을 통해 확장할 수 있습니다. GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 에처이며 두 세계의 최고를 결합합니다. 고급 에치 백 (etch-back) 기능, 매우 정밀한 온도 및 압력 제어 (pressure control) 는 견고한 고출력 기능과 결합하여 다양하고 효율적인 프로세스 솔루션을 추구하는 과학자 및 엔지니어들을 위한 이동 도구입니다.