판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293622463

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 고정밀 에처 또는 애셔입니다. 초소형 전자 부품의 제조에 사용되는 도구이며, 반도체 및 전자 제품 제조에 널리 사용됩니다. GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 첨단 에칭 기술과 포괄적인 기능을 결합하여 최첨단 나노 테크 장치 제작을위한 강력하고, 안정적이며, 경제적인 도구를 만듭니다. NOVELLUS Aura 1000은 고급 ECP (ElectroChemical Processing) 를 사용하여 기존의 에칭 방법보다 높은 수준의 정밀 에칭과 적은 프로세스 결함을 제공합니다. ECP는 안정적이고 매우 정확한 기술로, 가속, 고에너지 이온을 사용하여 미세하게 계획된 에칭을 달성합니다. Aura 1000은 금속, 유전체, 플라스틱 및 합금을 포함한 다양한 재료와 호환됩니다. 이는 차세대 반도체 장치 및 기타 부품의 생산에 이상적입니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 (GASONICS/NOVELLUS Aura 1000) 은 최적의 프로세스 제어 및 etch 균일성을 보장하고 시간과 비용을 절약하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 높은 위치 정확도, 9 개의 에칭 프로그램, 작은 기능의 정확한 에칭을 보장하는 고속 10X 스캔, 통합 결함 감지, 비 금속 재료의 빠른 에칭을위한 조절 가능한 프리에치 사이클 (pre-etch cycle) 이 포함됩니다. 이를 통해 에치 균일성 (etch unifority), 에치 선택성 (etch selectivity) 및 위치 정확도가 모두 최적화되어 더 높은 수율과 더 적은 공정 결함이 발생합니다. 또한 GASONICS Aura 1000 은 자동화된 공구 유지 관리 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 운영자는 예방 작업을 손쉽게 계획하고 모니터링하고, 다운타임을 줄이고, 공구의 수명을 연장할 수 있습니다. 또한 GASONICS 최첨단 진단 (최첨단) 대시보드 소프트웨어를 통해 운영자는 도구 상태를 빠르고 지속적으로 모니터링하고, 추세를 평가하고, 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS Aura 1000은 강력하고 신뢰할 수있는 정밀 에처 또는 애셔입니다. 첨단 ECP 에칭 (etching) 기술을 포괄적인 고급 기능과 결합하여 차세대 나노기술 (nanotechnology) 장치 생산에 적합하다. 자동화된 유지 관리 및 진단 기능과 함께, Aura 1000은 고정밀 에칭 또는 애싱 (ashing) 작업에 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.