판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293619546

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 고급 마이크로 제조 및 반도체 제조 공정에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. GASONICS Aura 1000은 멀티 스테이지 아키텍처를 통해 정밀 제어, 고도의 균일성, 처리량 등의 탁월한 조합을 제공합니다. 첨단기술을 활용하면 공차 (tight tolerance), 기능 크기 (feature size), 기하학 (geometry) 의 균일성 등 현대 기기 생산의 과제를 충족할 수 있다. NOVELLUS Aura 1000 아키텍처는 운영 처리량을 최적화하면서 최대의 처리 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 다중 도끼 기계식 플랫폼 (multi-axe mechanical platform) 은 전체 주기에 걸쳐 안정적이고 균일 한 프로세스 환경을 제공하며, 최소 진동이 가능합니다. 동력 구동 및 자동화는 프로세스 통합과 높은 수준의 레시피 제어를 가능하게합니다. 내장 진단을 통해 장비 성능과 정확도에 대한 피드백을 신속하게 수행할 수 있습니다. 오라 1000 (Aura 1000) 은 수많은 화학 물질 및 증착 재료를 제공하여 다양한 기하학 및 기타 기능을 만들 수 있습니다. 또한 다양한 복사 에너지 (radiant energy) 소스와 조절 가능한 히터 플레이트를 지원할 수 있으며, 최적의 프로세스 매개 변수를 유지할 수있는 독특한 환경을 제공합니다. 이 시스템은 석영, 실리콘 웨이퍼, 금속 합금 호일, 유기 폴리머 기판과 같은 광범위한 기질 물질을 처리 할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 갖춘 사용자 친화적입니다. 즉, 모든 웹 기반 디바이스에서 원격으로 작동할 수 있으며, 확장 가능한 데이터 획득 장치를 내장하여 다른 자동화 시스템, 데이터베이스, 소프트웨어 패키지 등에 연결할 수 있습니다. 여러 시퀀스 파일을 지원하므로 여러 애플리케이션에 대해 프로세스 최적화 (process optimization) 를 수행할 수 있습니다. 가소 닉스 오라 1000 (GASONICS AURA 1000) 의 고속 전동 웨이퍼 처킹 머신 (Motorized Wafer Chucking Machine) 은 고급 보호 측정과 함께 사이클 시간을 줄여 도구가 더 빠른 속도로 더 높은 수율을 생산할 수 있도록 도와줍니다. 다중 프로세스 채널과 내부 이미징 에셋 (옵션) 을 통해 여러 기판을 동시에 처리할 수 있습니다. 고급 자동화는 일관된 결과와 최적의 성능을 보장합니다. NOVELLUS Aura 1000은 최첨단 나노 및 마이크로 스케일 제작에 이상적입니다. 하이엔드 기능과 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해, 파격적인 정밀 제어 (Precision Control) 와 높은 처리량 (Throughput) 을 혼합하여 최신 반도체 프로세스의 과제를 탐색 할 수 있습니다.