판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293619545

GASONICS / NOVELLUS Aura 1000
ID: 293619545
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Asher, 6" 1994 vintage.
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 고급형 에처이며 나노 미터 해상도까지 고밀도 구성 요소를 생산하도록 설계되었습니다. GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 매우 훌륭한 기능을 생성할 수 있으므로 높은 정확도와 극도의 정확성이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 장비는 10nm 정도의 작은 깊이로 에치 앤 애쉬 (etch and ash) 하여 매우 상세하고 복잡한 디자인을 가능하게합니다. NOVELLUS Aura 1000에는 다양한 응용 프로그램을 처리 할 수있는 유연한 프로덕션 라인이 있습니다. 그것 을 "실리콘 '과 같은 금속, 도자기 및 반도체 재료 를 에치· 재 로 만들기 위해 프로그램 할 수 있다. 이 시스템은 정밀 제어 챔버 (precision control chamber) 를 갖추고 있어 뛰어난 결과를 내는 데 필요한 지속적인 온도 및 압력 조절을 제공합니다. 이 프로세스는 밀폐된 장치 (enclosed unit) 환경으로 둘러싸여 안전하고 깨끗합니다. Aura 1000에는 고정밀도 및 반복성이 가능한 고급 독점 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이러한 구성 요소에는 에치 챔버, 가스 인젝터, 가스 분배를위한 샤워 헤드 유사 구조 및 PAVG 소스 공급이 포함됩니다. 이러한 구성 요소의 조합을 통해 복잡한 3D 구조와 훌륭한 기능을 사용할 수 있습니다. 이 시스템의 통합 (Integrated) 소프트웨어를 사용하면 복잡한 경로와 기계별 (Machine-Specific) 프로세스를 생성할 수 있으므로 운영 기록에 쉽게 액세스하고 제조 컴포넌트의 품질을 보장할 수 있습니다. 또한 자동 검사 도구를 통해 에칭 된 조각을 시각적으로 확인할 수 있습니다. 탁월한 수준의 정확성, 속도 및 효율성을 갖춘 GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 자동차, 항공 우주 및 의료 산업에 적합합니다. 이 옵션은 나노미터 해상도 (nanometer resolution) 까지 피쳐 크기를 줄여 주며, 이보다 짧은 리드 타임 (lead time) 에 고유 컴포넌트를 생성할 수 있도록 설계되었습니다. 이 자산은 고가용성, 고밀도 부품을 위한 효율적인 생산 라인을 제공합니다.
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