판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293594312

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 45nm 이하의 장치 제작을 위해 고급의 고정밀 프로세스를 제공하도록 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 기존의 에처 (etcher) 는 기질의 원치 않는 영역을 조각하는 데 사용되는 반면, 애셔 (asher) 는 화학적 공정을 사용하여 필름을 기판에 적합하게 하여 매우 미세하고 균일 한 디테일을 "에치 (etch)" 하는 기능을 제공합니다. GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 애셔의 정밀도와 기존 에처의 효율성을 결합하여 고성능, 저렴한 비용, 유연성에 최적화된 솔루션을 제공합니다. NOVELLUS Aura 1000은 2 개의 자기 필터를 사용하여 정확하게 조정되고 일치하는 에칭 및 애싱 기술을 제공합니다. 첫 번째 필터는 진공 소스 경로 (vacuum source-path) 로, 해상도가 37.5nm까지 낮아진 구조물의 초미세 에칭을 생산할 수 있습니다. 이것은 현재이 종류의 etch/ash 시스템에서 사용할 수있는 최고의 해상도입니다. 두 번째 필터는 45nm 미만의 해상도에서 등각 ashing을 지원하는 비활성 가스 소스 경로입니다. Aura 1000은 또한 디지털 CCD 카메라와 결합 된 광학 빔 이미징을 사용하는 현장 표면 관측 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 서피스 프로파일에 대한 인라인 (inline) 모니터링을 제공하며, 에칭 조건을 조정하여 정확도, 해상도, 반복성을 높일 수 있습니다. 이 장치는 또한 많은 다른 재료뿐만 아니라 질화물, 폴리 실리콘 및 구리 층을 에칭하기위한 photo-resist trace etching을 지원합니다. 다중 레벨 처리 기능은 GASONICS/NOVELLUS Aura 1000의 또 다른 기능입니다. 이 장치는 최대 12 레벨의 에치/애쉬 (etch/ash) 를 사용하여 한 사이클에서 여러 레이어의 전체 병렬 처리를 허용합니다. 이렇게 하면 한 기판에서 다른 기판에 대한 에치/애쉬 (etch/ash) 조건을 일치시킬 때 유연성이 극대화됩니다. 마지막으로, GASONICS Aura 1000은 다른 etch/ash 프로세스에 신속하게 적응 할 수있는 다양한 프로세스 모듈을 제공합니다. 이 모듈은 사용자가 유연성을 높일 뿐 아니라, 설치 작업 (setup work) 을 추가로 수행하지 않아도 처리량을 높일 수 있는 기능을 제공합니다. 요약하면, NOVELLUS Aura 1000은 고성능, 저렴한 비용 및 유연성에 최적화된 혁신적인 에처/애셔입니다. 두 개의 자기 필터 (magnetic filter) 와 그 내부 표면 관측기 (in situ surface observation machine) 는 최고의 해상도와 반복성을 제공하는 최첨단 장치입니다. 또한 다중 레벨 (multi-level) 프로세싱 기능과 프로세스 모듈을 통해 다양한 애플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.