판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293586845
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GASONICS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 다양한 산업에서 생산에 이상적인 고급, 컴퓨터 제어 에칭/애서 시스템입니다. 유연하게 구성된 자동화된 반도체 에칭 장비로, 높은 처리율에서도 뛰어난 구조적 균일성과 낮은 전체 기능 높이 (Total Feature Height) 를 제공합니다. 이 "시스템 '의 정교 함 과 다양성 을 통해 기업체 들 은 열" 스트레스' 를 최소화 하면서 최고 수준 의 "마이크로 미터 '정밀도 를 달성 할 수 있다. NOVELLUS/GASONICS Aura 1000에는 에칭 매개 변수를 빠르게 조정하고 모니터링 할 수있는 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 장치는 컴팩트하며 기존 반도체 제조 장비에 맞게 설계되었습니다. 또한 다른 화학 물질, 층 조합 (Layer Combination) 등 다양한 재료를 처리 할 수 있으며, 광범위한 에치 (etch) 프로세스를 지원하기 위해 광범위한 챔버 구성을 제공합니다. GASONICS/NOVELLUS/NOVELLUS Aura 1000은 고급 가스 전달 머신 (advanced gas delivery machine) 을 사용하여 동적 계량 구성 요소 배열을 사용하여 공정 챔버 내의 재료 분포를 정확하게 제어하고 분석합니다. 이 도구는 또한 고급 제어 기술 (Advanced Control Technology) 덕분에 매우 정확한 에칭 결과를 통해 탁월한 처리 속도와 표면 청결을 제공합니다. GASONICS/Aura 1000은 안전 및 환경 고려 사항을 고려하여 설계되었습니다. 정밀한 온도 조절 (temperature control) 및 중단 없는 프로세스 온도 관리를 제공하면서 잠재적 인 환경 위험을 방지하는 완전 자동화된 고온 전송 스테이션을 제공합니다. 이 자산에는 자동 배기 (automated exhaust) 모니터링을 포함한 다양한 안전 및 격리 (containment) 기능이 포함되어 있어 잠재적으로 위험한 폐기물을 최소화합니다. 정교함에도 불구하고 NOVELLUS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 설치와 작동이 매우 간단합니다. 조정 가능하고 사용자 정의 가능한 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 통해 개별 에칭 프로세스를 수용하도록 신속하게 구성할 수 있습니다. 또한, 고급 유지 보수 (maintenance) 기능을 통해 모델의 효율적이고 문제를 쉽게 실행할 수 있습니다. 전반적으로 GASONICS/NOVELLUS/GASONICS Aura 1000은 생산에서 뛰어난 정확도를 제공하는 고급 에칭/애서 시스템입니다. 손쉽게 설치, 운영할 수 있으며, 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있으며, 안전 및 환경 문제를 염두에 두고 설계되었습니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 (GASONICS/NOVELLUS Aura 1000) 은 다양한 재료를 처리 할 수있는 적응력이 뛰어나며, 매우 정확한 에칭/애셔 결과가 필요한 모든 비즈니스에 적합한 선택입니다.
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