판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS 9102 #9238248

GASONICS/NOVELLUS 9102는 마이크로 제작 및 nanofabrication 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 이 기계는 박막 에칭 (Thin Film Etching) 및 재료 스퍼터링 (Material Sputtering) 에 사용되어 기판에 소규모 피쳐를 생성합니다. GASONICS 9102에는 직경이 최대 4 인치 인 기판에 25nm 기능을 에칭 할 수있는 2 개의 고출력 KrF 레이저가 장착되어 있습니다. 또한 NOVELLUS 9102에는 최대 4 개의 극저온 전달 시스템과 4 개의 에칭/스퍼터링 소스가 장착되어 있습니다. 9102는 매우 자동화되어 있으며 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자가 신속하게 에칭 프로세스를 설정할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS 9102에는 광학 모니터링, 압력, 온도 등을 포함한 여러 프로세스 제어 기능이 있습니다. 이 시스템에는 자동 재시작 기능과 동적 열 제어 장치 (Dynamic Thermal Control Unit) 도 장착되어 있습니다. GASONICS 9102는 단일 챔버, 듀얼 챔버, 단일 모듈 챔버 (대용량 로드 잠금 챔버 포함) 를 포함한 다양한 공정 챔버와 함께 사용할 수 있습니다. 여러 개의 챔버와 큰 챔버 크기로 더 복잡한 시스템을 사용할 수 있습니다. NOVELLUS 9102 (NOVELLUS 9102) 는 매우 빠른 속도로 에칭/스퍼터링을 할 수 있으며, 이는 특히 대용량 애플리케이션에 유익합니다. 9102는 금속, 반도체, 안경, 합금, 도자기 및 유기 물질을 포함한 다양한 기질과 잘 작동합니다. 또한 Windows 기반 GUI 소프트웨어를 사용하면 실시간 프로세스 모니터링 및 최적화를 통해 운영 효율성을 극대화할 수 있습니다. GASONICS/NOVELLUS 9102의 레이어 두께 정확도는 0.5% 이상이고 반복 성은 0.3% 입니다. 요약하면, GASONICS 9102 etcher/asher는 속도와 정확도를 결합하여 고정밀 마이크로 및 나노 제작을 가능하게하는 다재다능한 기계입니다. 고출력 레이저 및 동적 열 제어 도구 (Dynamic Thermal Control Tool) 는 생산 과정에서 신뢰할 수있는 도구입니다. NOVELLUS 9102는 사용자 친화적 인 GUI와 쉽게 사용할 수 있으며, 다양한 기판과 호환됩니다.