판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS 9102 #9151439

GASONICS / NOVELLUS 9102
ID: 9151439
Plasma etcher.
GASONICS/NOVELLUS 9102 etcher/asher는 고정밀 다이 레벨 재료 에칭 도구입니다. 광범위한 상용, 산업 및 의료 어플리케이션을 위해 높은 정확도의 재료 제거 기능을 제공합니다. 이 장비 는 재료 에칭 및 제거 를 위해 "펄스 '" 레이저' 광선 을 사용 하며, "레이저 '광선 을 통하여 차가운 질소" 가스' 를 "펌프 '하여 주위 의 표면 과 부품 을 열 손상 으로부터 보호 한다. 그것은 MEMS 및 반도체 장치, 그리고 의료 장치 제작 및 lab-on-a-chip 장치의 생산에 활용되었습니다. GASONICS 9102는 섬세한 기본 기능에 해를 끼치지 않고 곡선, 선, 패턴 및 기능을 가공소재로 에칭하도록 설계되었습니다. 시스템은 프로그래밍 가능하며 한 번에 여러 개의 다이를 처리 할 수 있습니다. 또한 유리, 실리콘, 특허, 세라믹, 금속 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 기계에는 고정밀 F-Theta 초점 장치가 장착되어 있으므로 복잡한 구조와 서브 미크론 리소그래피 (sub-micron Lithography) 를 수행 할 수 있습니다. NOVELLUS 9102는 안정적이고, 빠르고, 효율적인 에처로서 뛰어난 품질의 패턴과 기능을 제공합니다. 그것 은 단지 10 "피트 '2 의 작은 발자국 을 가지고 있으며, 그것 을 연구 시설 과 실험실 에 사용 할 수 있게 해 준다. 고도로 자동화된 디자인은 무인 에칭 및 재료 응용 프로그램을 지원합니다. 강력한 기능은 실시간 레이저 제어로 더욱 향상되어 단일 주파수 에너지 펄스 (puls) 가 10 나노초 (nanosecond) 까지 짧게 전달됩니다. 9102에는 단순한 사용자 인터페이스가 있으며, 탁월한 열 제어 기능을 제공하여 에칭 깊이가 균일합니다. 또한 미세 재료 제거 및 미세 조정 에칭 제어를 위한 가스 혼합 기능을 제공합니다. 혁신적인 머신 (Innovative Machine) 은 처리 속도가 빠르므로 산업 및 의료 애플리케이션을 위한 효율적인 선택입니다. 공사 의 견고 한 구조 와 이치적 인 가격 덕분 에, 연구자 들 과 상업 기술자 들 모두 가 선호 하는 선택권 이 점점 더 강해지고 있다. "깨어라!" (
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