판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9129593

GASONICS/NOVELLUS 2000 II는 다양한 기판 재료에서 웨이퍼를 에칭 또는 ashing하기위한 완전 자동화 된 장비입니다. 가장 까다로운 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 위한 업계 최고의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. GASONICS 2000 II는 독특한 듀얼 리플렉터 아키텍처를 사용하는 2 개의 레이저 기반 통합 옵틱 데크를 특징으로하는 GASONICS ITP (Integrated Technology Platform) 를 기반으로합니다. 이를 통해 시스템은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 최고 해상도, 품질 및 처리량을 달성할 수 있습니다. NOVELLUS 2000 II는 에칭 및 애싱 응용 모두에서 사용되는 가변 압력 (VP) 처리를 특징으로합니다. VP 처리 (VP processing) 를 통해 재료 및 공정 흐름에 따라 프로세스 챔버에서 압력 조건이 높고 낮아집니다. 이를 통해 장치의 성능을 최적화하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 2000 II는 또한 APC (Advanced Process Control) 와 같은 다양한 기능을 갖추고 있으며, 이 기능을 통해 머신은 재료 및 공정 흐름에 따라 에칭 및 애싱 중 매개변수를 조정 할 수 있습니다. 또한 MPC (Multi-Process Chamber) 옵션을 통해 여러 에칭 및 애싱 프로세스를 동시에 또는 순서대로 실행할 수 있습니다. 이 에셋은 또한 고급형 비디오 어시스트 (Video Assist) 기능을 통해 운영자가 대형 모니터와 내장형 진단 모델 (Diagnostics Model) 에서 실시간으로 웨이퍼 처리를 볼 수 있습니다. 이렇게 하면 장비의 성능을 모니터링하고 오류를 신속하게 감지할 수 있습니다. 마지막으로, GASONICS/NOVELLUS 2000 II에는 대형 웨이퍼를위한 카세트로드 장치 (cassette-loading unit) 및 암로드 머신 (arm-loading machine) 을 포함하는 통합 웨이퍼 처리 시스템이 포함되어 있어 대형 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 이러한 GASONICS 2000 II 자산의 고급 기능은 반도체 장치에서 MEM, LED 등에 이르기까지 고급 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적입니다. 그 높은 수준의 정밀도, 정확성 (Accuracy) 은 다른 모든 모델에 의해 타의 추종을 불허하며, 전 세계에서 실험실을 에칭 및 애쉬 (eching and ashing) 하는 최고의 선택입니다.