판매용 중고 GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9251583
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ID: 9251583
웨이퍼 크기: 4"-8"
Plasma asher, 4"-8"
(2) Channels
Quartz barrel: 12" x 22" Diameter
Soft pumping and purge valving
(2) Mass flow gas inputs with VCR fittings
Stainless steel plumbing
Temperature monitor: Quartz-coated thermocouple in process chamber
Multi channel / Single board computer controlled with floppy storage
ENI OEM 12B RF Generator: 1250 Watt
13.56 MHz Air cooled with automatic impedance matching network
Display: Touch screen, 21"
For control and monitoring of process parameters
Automatic recipes or manual plasma treatments
Temperature controller
(4) User specified gases with 500 sccm stainless steel MFCs
NEMA-12 Wall mounting enclosure with locking handle
Process pressure: ~120- 2000 mtorr
CE Certified
Power supply: 208-240 Volts, 3Φ, 50/60 Hz, 5 wire.
이 에처/애셔는 IPC에서 제조 한 고속 자동 습식 공정 기계입니다. 그것 은 "웨이퍼 ', 두꺼운" 필름', "실리콘 '등 여러 가지 기판 을 에칭 하여 부착 할 수 있다. 이 시스템은 산/용매 및 주변 탱크, 작업 구역 및 오븐 존 (oven zone) 의 3 가지 영역으로 구성됩니다. 산/용매 탱크에는 최대 15 개의 4 "/100mm 웨이퍼를 수용 할 수있는 바구니 트롤리가 포함되어 있으며, 최대 3 개의 개별 탱크에 대한 정확한 산 제어를 제공합니다. 용매와 산의 양은 기계에 의해 자동으로 조절 될 수있다. "바구니 트롤리 '를 청소 하기 위해" 탱크' 에서 제거 하고 "탱크 '를 보충 할 수 있다. 작업 영역은 프로세스의 핵심이며, 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 작업을 수행합니다. Micro 컨트롤러는 인젝터 헤드를 작동시켜 산/용매를 웨이퍼 스테이션에 전달합니다. 마이크로 컨트롤러는 또한 SCR 전원 컨트롤러를 제어합니다. SCR 전원 컨트롤러는 에치/애쉬 (etch/ash) 공정을 전자적으로 활성화 할 수있는 고주파 에너지 소스를 제공합니다. 다른 모든 프로세스 조건이 일정하게 유지되는 동안 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 동시에 수행 할 수 있으므로 기계가 실제로 빛을 발하는 곳입니다. 오븐 존은 에칭/애싱 공정 후 웨이퍼를 건조시키는 데 도움이됩니다. 오븐 챔버 (oven chamber) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 궁극적 인 건조 공정을 위해 최대 700 C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 조정 가능한 시간 (time) 과 온도 매개변수 (temperature parameter) 를 설정하여 온도를 설정 및 조절할 수 있습니다. 전반적으로 GASONICS/BRANSON/IPC 9104는 정확하고 정확한 etcher/asher입니다. 고속 프로세스와 조정 가능한 시간 (time) 및 온도 (temperature) 매개변수 세트를 제공합니다. 이 기계에는 에칭/애쉬 (etched/ashed) 제품의 완벽한 건조를 보장하기 위해 스테인리스 스틸 오븐 존이 포함되어 있습니다. 이 시스템을 사용하면 사용자는 매번 우수한 결과를 기대할 수 있습니다.
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