판매용 중고 GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9196372
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ID: 9196372
웨이퍼 크기: 4"-6"
Plasma asher, 4"-6"
P/N: 15698-02
QUARTZ Chamber
With ENI OEM-12B-06 RF Generator
Power control
BIS 15677-02.
GASONICS/BRANSON/IPC 9104는 의료, 광학 및 기타 산업 내에서 높은 처리량, 고수율 및 고품질 결과를 유지하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 에처/애셔는 Si, 금속, 유리 및 기타 여러 기판을 에칭, 청소 및 기능화하는 여러 소스 액체 제트기를 특징으로합니다. IPC 9104는 독점 Active Temperature Control Equipment를 사용하여 에칭 및 재싱에 대한 최적의 프로세스 온도 및 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시 빠른 프로세스 변경 및 정확한 프로세스 제어를 허용합니다. 또한, 이 etcher/asher는 일관된 etch/ash 프로파일과 뛰어난 균일성과 표면을 보장하는 고급 디지털 Vibrasonic 동요 장치를 자랑합니다. 첨단 디지털 비브라소닉 (Vibrasonic) 동요기는 원치 않는 반응 제품을 제거하고 결함과 변동을 최소화하는 데 도움이됩니다. BRANSON 9104는 고급 아날로그 NiS/INS 구성 PC 플랫폼으로도 구동됩니다. 이 PC 플랫폼을 사용하면 원격 프로세스 모니터링, 레시피 스토리지 및 편집, 통계 프로세스 제어, 프로세스 기록 아카이빙 등을 수행할 수 있습니다. 또한 강력한 NiS/INS 플랫폼을 사용하면 여러 프로세스 매개 변수에서 프로세스 사용자 정의 및 최적화를 수행할 수 있습니다. 9104 는 높은 처리량, 고수율, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 고품질 결과를 추구하는 사용자에게 이상적인 솔루션입니다. 고급 디지털 Vibrasonic 동요 도구, Active Temperature Control Asset 및 강력한 NiS/INS 구성 PC 플랫폼 덕분에, 이 echer/asher는 최고 수준의 성능으로 일관된 결과를 낳습니다. 또한, 이 설계는 프로세스 사용자 정의 및 최적화 (optimization) 를 가능하게 하며, 모든 유형의 사용자에게 쉽게 작동할 수 있습니다.
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