판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #9241898

GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 반도체 산업에서 집적 회로 제작의 플라즈마 에칭 및 스트리핑 프로세스에 널리 사용되는 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 기술과 혁신적인 기능을 통합하여 중요한 반도체 제조 어플리케이션을 위한 높은 정밀도, 안정성, 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공합니다. 오라 1000 (Aura 1000) 은 실리콘, 이산화실리콘, 질화실리콘, 금속 등 다양한 재료의 에칭과 포토 esist ashing을 포함하여 광범위한 공정 기능을 허용하는 다목적 챔버 설계를 특징으로합니다. 이 장치에는 여러 개의 가스 라인 (gas line) 과 질량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 가 장착되어 프로세스 화학과 가스 흐름 속도를 정확하게 제어하여 웨이퍼 전체에서 균일하고 일관된 에칭 및 애싱 성능을 보장합니다. GASONICS Aura 1000의 주요 특징 중 하나는 고급 플라즈마 생성 기계 (advanced plasma generation machine) 로, 고주파 RF 전원을 사용하여 공정 챔버에 고도로 균일하고 안정적인 플라즈마를 만듭니다. 플라즈마 화학은 웨이퍼 피쳐의 에치 선택도 (etch selectivity), 에치 속도 (etch rate) 및 프로파일 제어를 결정하는 데 중요한 역할을합니다. 이 도구는 특정 장치 구조 및 재료의 프로세스 조건을 최적화하기 위해 플라즈마 매개변수 (예: 전원, 압력, 가스 구성, 바이어스 전압) 에 대해 사용자 정의 가능한 조정 옵션을 제공합니다. 플라즈마 세대 자산 외에도, 오라 1000 (Aura 1000) 은 혁신적인 가스 분포 모델을 갖추고 있어 프로세스 가스를 웨이퍼 표면에 효율적이고 균일하게 전달합니다. 이 장비는 가스 샤워 헤드 (gas showerhead) 기술을 통합하여 가스 흐름 패턴 (gas flow pattern) 을 정확하게 제어하고 웨이퍼 (wafer) 전체에 걸쳐 균일 한 에칭 및 애싱 속도를 제공합니다. 또한 가스 분배 시스템 (Gas Distribution System) 은 빠른 가스 제거 및 챔버 클리닝 주기를 지원하여 프로세스 다운타임을 최소화하고 처리량을 최대화합니다. GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 고급 엔드 포인트 감지 기능을 제공하여 etch 또는 ash 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 프로세스 엔드 포인트를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장치는 광학 방출 분광법 (OES) 또는 기타 정교한 기술을 사용하여 에치 (etch) 또는 재 (ash) 공정 완료와 관련된 플라즈마 방출 스펙트럼 또는 기타 프로세스 매개변수의 변화를 감지합니다. 이를 통해 엔드포인트 감지 (endpoint detection) 및 프로세스 제어 (process control) 를 통해 중요한 장치 구조에 대한 최적의 에치 깊이 균일성과 선택성을 보장합니다. 또한 Aura 1000 은 포괄적인 프로세스 데이터 로깅 및 레시피 관리 머신 (recipe management machine) 을 통합하여 프로세스 레시피를 저장 및 검색하고 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고, 기간별 데이터를 분석하여 프로세스 최적화 및 문제 해결을 지원합니다. 이 도구의 사용자 친화적 인 인터페이스는 프로세스 매개변수, 경보 (alarm), 상태 표시기 (status indicator) 를 직관적으로 제어하고 시각화 (visualization) 할 수 있으며, 최소한의 훈련으로 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 프로세스를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 전체적으로 GASONICS Aura 1000은 반도체 제조 응용 프로그램에 탁월한 프로세스 제어, 정밀 및 신뢰성을 제공하는 고성능 etcher/asher 자산입니다. 고급 플라즈마 (Plasma) 생성, 가스 분포, 엔드 포인트 감지 및 데이터 관리 기능을 갖춘 이 모델은 차세대 집적 회로 (Integrated Circuit) 제작을 위한 탁월한 에칭 및 스트리핑 성능을 제공합니다.