판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293831504

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 나노 미터 규모의 집적 회로의 대용량 생산을 위해 설계된 고급 etcher/aser 장비입니다. 이 시스템은 크기 (10nm) 가 작은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 사용할 수 있으며, 다양한 어플리케이션에 적합한 안정적이고 모듈식 아키텍처를 기반으로 제작되었습니다. 이 장치는 고급 기술 (advanced technology) 을 사용하여 가장 복잡한 기능의 최고 수율과 가장 정확한 에칭 (etching) 및 재싱 (ashing) 을 가능하게합니다. 이것은 나노 미터 스케일 치수를 갖는 트랜지스터 및 기타 전기 부품을 만드는 데 사용될 수있다. 머신에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 실시간으로 시각화하여 원하는 피쳐 형상이 매번 생성되도록 하는 고급 제어 (advanced control) 소프트웨어가 제공됩니다. 이 도구에는 FOUP (Front Opening Unified Pod) 및 POAT (Polish and Oxide Application Tray) 로드 및 언로딩 시스템과 함께 자동 및 반자동 클리닝 시스템이 포함되어 있어 연속적이고 효율적인 작동을 보장합니다. 에셋은 또한 최적의 에칭 및 애싱 결과를 제공하기 위해 튜닝 할 수있는 고급 2.5 kW 이온 소스로 구동됩니다. NOVELLUS/GASONICS Aura 1000에는 RF 자체 청소 모델 및 전용 입자 필터와 같은 고급 오염 제어 기능도 있습니다. 이 장비는 청소실 환경을 유지하고 오염 및 입자 손상 위험을 최소화합니다. 이것은 나노 미터 규모의 집적 회로의 고 수율 생산을 보장합니다. 이 시스템은 고급 기능 외에도 가동 시간 (Uptime) 과 안정성 (안정성) 을 극대화하도록 설계되었으며, 유지 보수 및 수리를 위한 높은 수준의 지원을 제공합니다. 이 장치는 유연하고 확장 가능하도록 설계되었습니다. 따라서 광범위한 대용량 어플리케이션 (high-volume application) 에 사용할 수 있습니다. 높은 수준의 자동화, 소프트웨어 제어 및 고급 에칭/애싱 기술을 갖춘 GASONICS/NOVELLUS/NOVELLUS Aura 1000은 나노 미터 규모의 집적 회로의 대용량 생산을위한 이상적인 에칭/애싱 기계입니다.